Er is sprake van een sterke ionenbundel in een vast materiaal. De ionenbundel brengt de atomen of moleculen van het vaste materiaal op het oppervlak van het vaste materiaal. Dit verschijnsel wordt ionenbundelsputtering genoemd. Wanneer het vaste materiaal op het oppervlak terugkaatst, of wanneer het vaste materiaal uit het vaste materiaal verdwijnt, treedt dit verschijnsel op door verstrooiing. Er is nog een ander verschijnsel: nadat de ionenbundel het vaste materiaal heeft geraakt, neemt de weerstand langzaam af en blijft het in het vaste materiaal. Dit verschijnsel wordt ionenimplantatie genoemd.
Ionenimplantatietechniek:
Het is een technologie voor oppervlaktemodificatie die zich de afgelopen 30 jaar snel heeft ontwikkeld en wereldwijd breed wordt toegepast. Het basisprincipe is om de energie van de invallende ionenbundel, met een kracht van ongeveer 100 keV, te benutten. De atomen of moleculen in het materiaal ondergaan een reeks fysische en chemische interacties. Het invallende ionenenergieverlies is een geleidelijke stop in het materiaal en leidt tot veranderingen in de structuur en eigenschappen van de oppervlaktesamenstelling van het materiaal. Dit wordt gedaan om de oppervlakte-eigenschappen van materialen te optimaliseren of om nieuwe eigenschappen te verkrijgen. De nieuwe technologie wordt, vanwege haar unieke voordelen, veel gebruikt in gedoteerde halfgeleidermaterialen, metaal, keramiek en polymeren. Oppervlaktemodificatie wordt veel gebruikt en heeft grote economische en maatschappelijke voordelen opgeleverd.
Ionenimplantatie is een belangrijke dopingtechnologie in de micro-elektronica en speelt een sleutelrol bij het optimaliseren van de oppervlakte-eigenschappen van materialen. Ionenimplantatietechnologie biedt uitstekende prestaties bij hoge temperaturen en een hoge chemische corrosiebestendigheid van het materiaal. Daarom zijn de belangrijkste onderdelen van de ionisatiekamer gemaakt van wolfraam, molybdeen of grafiet. Dankzij jarenlange industriële research en productie met behulp van ionenimplantatie van wolfraam-molybdeen heeft het productieproces een stabiele en rijke ervaring.
Populaire producten voor ionenimplantatie
