Сапфир – катуу, эскирүүгө туруктуу жана күчтүү материал, эрүү температурасы жогору, химиялык жактан кеңири инерттүү жана кызыктуу оптикалык касиеттерди көрсөтөт.Ошондуктан, сапфир негизги өнөр жай тармактары оптика жана электроника болуп саналат көптөгөн технологиялык колдонмолор үчүн колдонулат.Бүгүнкү күндө өнөр жай сапфиринин эң чоң бөлүгү LED жана жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн субстрат катары колдонулат, андан кийин сааттар, уюлдук телефондордун тетиктери же штрих-код сканерлери үчүн терезелер катары колдонулат, бир нече мисалдарды атасак болот [1].Бүгүнкү күндө сапфирдин монокристаллдарын өстүрүүнүн ар кандай ыкмалары бар, жакшы серепти, мисалы, [1, 2].Бирок, үч өстүрүү ыкмасы Киропулос процесси (KY), жылуулук алмашуу ыкмасы (HEM) жана жээк менен аныкталган пленка менен азыктанган өсүү (EFG) дүйнө жүзү боюнча сапфир өндүрүшүнүн кубаттуулугунун 90% дан ашыгын түзөт.

Синтетикалык жол менен өндүрүлгөн кристаллдын биринчи аракети 1877-жылы майда рубин монокристаллдары үчүн жасалган [2].1926-жылы Киропулос процесси оңой эле ойлоп табылган.Ал вакуумда иштейт жана абдан жогорку сапаттагы чоң цилиндр формасындагы булаларды чыгарууга мүмкүндүк берет.Дагы бир кызыктуу сапфир өстүрүү ыкмасы четине аныкталган пленка менен азыктанган өсүү болуп саналат.EFG техникасы суюктук эритме менен толтурулган капиллярдык каналга негизделген жана таякчалар, түтүктөр же барактар ​​(ошондой эле ленталар деп аталат) сыяктуу формадагы сапфир кристаллдарын өстүрүүгө мүмкүндүк берет.Бул ыкмалардан айырмаланып, 1960-жылдардын аягында пайда болгон жылуулук алмашуу ыкмасы түбүнөн аныкталган жылуулук алуу менен тигел формасындагы ийрилген тигелдин ичинде чоң сапфир булаларды өстүрүүгө мүмкүндүк берет.Сапфир буласы өстүрүү процессинин аягында тигелге жабышып калгандыктан, булалар муздатуу процессинде жарылып кетиши мүмкүн жана тигель бир гана жолу колдонулушу мүмкүн.
Бул сапфир кристалл өстүрүү технологияларынын кайсынысы болбосун, негизги компоненттери, айрыкча тигельдер - жогорку температурада отко чыдамдуу металлдарды талап кылат.Өстүрүү ыкмасына жараша тигельдер молибден же вольфрамдан жасалат, бирок металлдар резистенттик жылыткычтар, пачкалар жана ысык зоналар үчүн да кеңири колдонулат [1].Бирок, бул макалада биз талкуубузду KY жана EFG менен байланышкан темаларга бурабыз, анткени бул процесстерде пресстелген тигелдер колдонулат.
Бул отчетто биз молибден (Мо), вольфрам (Вт) жана анын эритмелери (MW) сыяктуу престелген агломерацияланган материалдардын беттик кондициясы боюнча материалдардын мүнөздөмөлөрүн жана изилдөөлөрүн сунуштайбыз.Биринчи бөлүктө биздин басым жогорку температурадагы механикалык маалыматтарга жана ийкемдүү жана морттук өтүү температурасына бурулган.Механикалык касиеттерге кошумча катары биз термо-физикалык касиеттерди, башкача айтканда, жылуулук кеңейүү коэффициентин жана жылуулук өткөрүмдүүлүктү изилдедик.Экинчи бөлүктө биз глинозем эритмеси менен толтурулган тигелдердин туруктуулугун жогорулатуу үчүн атайын беттик кондициялоо техникасы боюнча изилдөөлөрдү сунуштайбыз.Үчүнчү бөлүктө биз отко чыдамдуу металлдарда суюк глиноземдин 2100 °C нымдоо бурчтарын өлчөө жөнүндө баяндайбыз.Биз Mo, W жана MoW25 эритмесинде (массасы 75% молибден, 25 масс.% вольфрам) эрүү-тамчы эксперименттерин жүргүздүк жана ар кандай атмосфералык шарттарга көз карандылыкты изилдедик.Иликтөөлөрүбүздүн натыйжасында биз MoWти сапфир өстүрүү технологияларында кызыктуу материал катары жана таза молибден менен вольфрамга потенциалдуу альтернатива катары сунуштайбыз.
Жогорку температуранын механикалык жана термо-физикалык касиеттери
KY жана EFG сапфир кристаллынын өстүрүү ыкмалары дүйнөдөгү сапфирдин санынын 85% дан ашыгы үчүн кызмат кылат.Эки ыкмада тең суюк алюминий оксиди, адатта, KY процесси үчүн вольфрамдан жасалган жана EFG процесси үчүн молибденден жасалган престелген агломерацияланган тигелдерге салынат.Тигельдер бул өсүп жаткан процесстер үчүн системанын маанилүү бөлүктөрү болуп саналат.KY процессинде вольфрам тигелдеринин чыгымдарын азайтуу, ошондой эле EFG процессинде молибден тигелдеринин иштөө мөөнөтүн көбөйтүү идеясын көздөп, биз кошумча эки MoW эритмесин, башкача айтканда MoW30 камтыган 70 wt.% Mo жана 30 wt камтыган MoW эритмесин чыгарып, сынап көрдүк. % W жана MoW50 камтыган 50 wt.% Mo жана W.
Материалдык мүнөздөмөлөрдүн бардык изилдөөлөрү үчүн биз Mo, MoW30, MoW50 жана W престелген агломерацияланган куймаларды чыгардык. I таблицада баштапкы материалдык абалына туура келген тыгыздык жана орточо дан өлчөмдөрү көрсөтүлгөн.

Таблица I: Механикалык жана термо-физикалык касиеттери боюнча өлчөө үчүн колдонулган престелген агломерацияланган материалдардын жыйындысы.Таблицада материалдардын баштапкы абалынын тыгыздыгы жана орточо дан өлчөмү көрсөтүлгөн

Тигельдер узак убакыт бою жогорку температурага дуушар болгондуктан, биз 1000 °C жана 2100 °C ортосундагы жогорку температура диапазонунда кылдат чыңалуу сыноолорун өткөрдүк.1-сүрөт Mo, MoW30 жана MoW50 үчүн бул жыйынтыктарды жалпылайт, мында 0,2 % кирешелүүлүк (Rp0,2) жана сынууга чейин узартуу (A) көрсөтүлгөн.Салыштыруу үчүн, престелген агломерацияланган Вт маалымат чекити 2100 °Cде көрсөтүлгөн.
Молибдендеги идеалдуу катуу эриген вольфрам үчүн Rp0.2 таза Mo материалына салыштырмалуу жогорулашы күтүлүүдө.1800 °Cге чейинки температуралар үчүн эки MoW эритмеси Mo үчүн караганда 2 эсе жогору Rp0,2 көрсөтөт, 1(а) сүрөтүн караңыз.Жогорку температуралар үчүн гана MoW50 бир кыйла жакшыртылган Rp0.2 көрсөтөт.Престелген-синтерленген W 2100 °Cде эң жогорку Rp0.2 көрсөтөт.Тартуу сыноолору 1(b)-сүрөттө көрсөтүлгөндөй Аны да ачып берет.Эки MoW эритмеси тең сынуу көрсөткүчтөрүнө абдан окшош узундугун көрсөтөт, алар адатта Moнин жарымынын жарымын түзөт. 2100 °Cдеги вольфрамдын салыштырмалуу жогору А болушу анын Mo менен салыштырганда майда бүртүкчөлүү түзүлүшү менен шартталган.
Престелген молибден вольфрам эритмелеринин ийкемдүүлүктөн морттукка өтүү температурасын (DBTT) аныктоо үчүн, ошондой эле ар кандай сыноо температураларында ийилүүчү бурч боюнча өлчөөлөр жүргүзүлгөн.Натыйжалар 2-сүрөттө көрсөтүлгөн. ДБТТ вольфрамдын курамын жогорулатуу менен көбөйөт.Mo DBTT болжол менен 250 °C салыштырмалуу төмөн болсо да, эритмелери MoW30 жана MoW50, тиешелүүлүгүнө жараша, болжол менен 450 °C жана 550 °C бир DBTT көрсөтөт.

Механикалык мүнөздөмөлөргө кошумча катары биз термо-физикалык касиеттерди да изилдедик.Термикалык кеңейүү коэффициенти (CTE) Ø5 мм жана 25 мм узундуктагы үлгүнү колдонуу менен 1600 °Cге чейинки температура диапазонунда түртүүчү таякчалуу дилатометрде [3] өлчөнгөн.CTE өлчөөлөрү 3-сүрөттө көрсөтүлгөн. Бардык материалдар температуранын жогорулашы менен CTEнин абдан окшош көз карандылыгын көрсөтөт.MoW30 жана MoW50 эритмелери үчүн CTE маанилери Mo жана W маанилеринин ортосунда. Престелген агломерацияланган материалдардын калдык көзөнөктүүлүгү бири-бирине карама-каршы келгендиктен жана кичинекей жеке тешикчелери бар болгондуктан, алынган CTE жогорку тыгыздыктагы материалдарга окшош, мисалы барактар ​​жана таякчалар [4].
Престелген агломерацияланган материалдардын жылуулук өткөрүмдүүлүгү Ø12,7 мм жана калыңдыгы 3,5 мм болгон үлгүнүн жылуулук диффузиясын да, салыштырма жылуулугун да лазердик жаркыруу ыкмасы менен өлчөө жолу менен алынган [5, 6].Изотроптук материалдар үчүн, мисалы, престелген-синтерленген материалдар үчүн, салыштырма жылуулукту ушул эле ыкма менен өлчөөгө болот.Өлчөөлөр 25 °C жана 1000 °C ортосундагы температура диапазонунда алынган.Жылуулук өткөргүчтүктү эсептөө үчүн I таблицада көрсөтүлгөндөй кошумча материалдык тыгыздыктарды колдондук жана температурага көз карандысыз тыгыздыктарды кабыл алабыз.4-сүрөттө престелген агломерацияланган Mo, MoW30, MoW50 жана Вт үчүн алынган жылуулук өткөрүмдүүлүк көрсөтүлгөн. Жылуулук өткөрүмдүүлүк

MoW эритмелери бардык изилденген температуралар үчүн 100 Вт/мКдан төмөн жана таза молибден менен вольфрамга салыштырмалуу бир топ кичине.Мындан тышкары, MoW жана W өткөргүчтөрү температуранын жогорулашы менен төмөндөйт, ал эми MoW эритмесинин өткөргүчтүгү температуранын жогорулашы менен жогорулаган маанилерди көрсөтөт.
Бул айырмачылыктын себеби бул иште изилденген эмес жана келечектеги иликтөөлөрдүн бир бөлүгү болот.Белгилүү болгондой, металлдар үчүн төмөнкү температурада жылуулук өткөрүмдүүлүктүн үстөмдүк кылуучу бөлүгү фонондук салым, ал эми жогорку температурада жылуулук өткөрүмдүүлүктө электрон газ үстөмдүк кылат [7].Фонондорго материалдык кемчиликтер жана кемчиликтер таасир этет.Бирок, төмөнкү температура диапазонунда жылуулук өткөрүмдүүлүктүн жогорулашы MW эритмелери үчүн гана эмес, ошондой эле электрондун салымы маанилүү роль ойногон вольфрам-рений [8] сыяктуу катуу эритүүчү материалдар үчүн да байкалат.
Механикалык жана термо-физикалык касиеттерин салыштыруу MoW сапфирди колдонуу үчүн кызыктуу материал экенин көрсөтүп турат.Жогорку температуралар > 2000 °C үчүн молибдендикке караганда түшүмдүүлүк жогору жана тигельдердин иштөө мөөнөтүн узартуу мүмкүн болушу керек.Бирок, материал морт болуп калат жана иштетүү жана иштетүү жөнгө салынышы керек.4-сүрөттө көрсөтүлгөндөй престелген агломерацияланган МВнын жылуулук өткөрүмдүүлүгүнүн олуттуу кыскарышы өсүп жаткан мештин ылайыкташтырылган жылытуу жана муздатуу параметрлери зарыл болушу мүмкүн экенин көрсөтүп турат.Айрыкча, глиноземди тигелде эритүү керек болгон ысытуу фазасында жылуулук тигель аркылуу өзүнүн чийки толтуруучу материалына гана ташылат.Тигелде жогорку жылуулук стресске жол бербөө үчүн MoW жылуулук өткөрүмдүүлүгүнүн төмөндөшүн эске алуу керек.MoW эритмелеринин CTE маанилеринин диапазону HEM кристалл өстүрүү ыкмасынын контекстинде кызыктуу.Маалымдамада [9] талкуулангандай, Монун CTE муздатуу фазасында сапфирдин кысылышын шарттайт.Ошондуктан, MoW эритмесинин кыскартылган КТЭси HEM процесси үчүн кайра колдонулуучу ийрилген тигелдерди ишке ашыруунун ачкычы болушу мүмкүн.
Престелген агломерацияланган отко чыдамдуу металлдардын үстүн кондициялоо
Кириш сөздө айтылгандай, пресстелген агломерацияланган тигелдер көбүнчө сапфир кристаллынын өсүү процесстеринде глиноземдун эритин 2050 °Cден бир аз жогору кармап туруу үчүн колдонулат.Акыркы сапфир кристаллынын сапаты үчүн маанилүү талаптардын бири эритмедеги аралашмаларды жана газ көбүкчөлөрүн мүмкүн болушунча төмөн кармап туруу болуп саналат.Престелген агломерацияланган бөлүктөрдүн калдыгы көзөнөктүүлүгү бар жана майда бүртүкчөлүү түзүлүштү көрсөтөт.Жабык көзөнөктүүлүгү бар бул майда бүртүкчөлүү структура металлдын, айрыкча кычкыл эритмелери менен күчөтүлгөн коррозиясына морт болуп саналат.Сапфир кристаллдары үчүн дагы бир көйгөй эритме ичиндеги кичинекей газ көбүкчөлөрү болуп саналат.Газ көбүкчөлөрүнүн пайда болушу эритме менен байланышта болгон отко чыдамдуу бөлүгүнүн үстүнкү тегиздигинин жогорулашы менен күчөйт.

Пресстелген материалдардын бул маселелерин чечүү үчүн биз механикалык беттик тазалоону колдонобуз.Биз ыкманы престүү аспап менен сынап көрдүк, анда керамикалык түзүлүш пресстелген бөлүктүн аныкталган басымы астында бетти иштетет [10].Беттеги эффективдүү басуу стресси бул беттик кондициялоо учурунда керамикалык куралдын контакт бетине тескери көз каранды.Бул ыкма менен престелген агломерацияланган материалдардын бетине локалдык түрдө жогорку басуу стресси колдонулушу мүмкүн жана материалдын бети пластикалык деформацияланат.5-сүрөттө ушул техника менен иштетилген пресстелген молибден үлгүсүнүн мисалы көрсөтүлгөн.
6-сүрөт эффективдүү басуу стрессинин инструменттин басымына көз карандылыгын сапаттык жактан көрсөтөт.Маалыматтар пресстелген молибдендеги инструменттин статикалык изин өлчөөдөн алынган.сызык биздин моделге ылайык маалыматтарга туура келет.

7-сүрөттө дисктер түрүндө даярдалган ар кандай престелген агломерацияланган материалдар үчүн инструменттин басымынын функциясы катары беттик тегиздикти жана беттин катуулугун өлчөө үчүн жалпыланган анализдин натыйжалары көрсөтүлгөн.7(а)-сүрөттө көрсөтүлгөндөй, дарылоо беттин катуулануусуна алып келет.Текшерилген MoW жана MoW30 материалдарынын катуулугу болжол менен 150% га жогорулаган.Жогорку курал басымы үчүн катуулугу андан ары жогорулаган эмес.7(б)-сүрөт Mo үчүн 0,1 мкм чейин Ra менен өтө жылмакай беттер мүмкүн экенин көрсөтүп турат.Аспаптын басымын жогорулатуу үчүн Mo-нун оройлугу кайра жогорулайт.MoW30 (жана W) Mo караганда катуураак материалдар болгондуктан, MoW30 жана W жетишилген Ra маанилери жалпысынан Moга караганда 2-3 эсе жогору. сыналган параметр диапазону.
Кондицияланган беттерди сканерлөөчү электрондук микроскопия (SEM) изилдөөлөрүбүз беттин тегиздигинин маалыматтарын тастыктайт, 7(b) сүрөтүн караңыз.8(а)-сүрөттө көрсөтүлгөндөй, куралдын өзгөчө жогорку басымы дан бетинин бузулушуна жана микро жаракаларга алып келиши мүмкүн.Абдан жогорку беттик стрессте кондициялоо дандын бетинен бир калыпта жок болушуна алып келиши мүмкүн, 8(b) сүрөтүн караңыз.Окшош эффекттер кээ бир иштетүү параметрлеринде MoW жана W үчүн да байкалышы мүмкүн.
Беттин дан түзүлүшүнө жана анын температуралык жүрүм-турумуна карата беттик кондициялоо техникасынын таасирин изилдөө үчүн биз Mo, MoW30 жана W үч сыноо дискинен күйдүрүү үлгүлөрүн даярдадык.

Үлгүлөр 800 °Cден 2000 °Cге чейинки диапазондо ар кандай сыноо температураларында 2 саат бою иштетилди жана жарык микроскопиялык анализ үчүн микросекциялар даярдалды.
9-сүрөттө пресстелген молибдендин микросекциялык мисалдары көрсөтүлгөн.Тазаланган беттин баштапкы абалы 9(а)-сүрөттө берилген.бети болжол менен 200 мкм диапазонунда дээрлик тыгыз катмарын көрсөтөт.Бул катмардан ылдыйда агломерациялоочу тешикчелери бар типтүү материалдык структура көрүнүп турат, калган көзөнөктүүлүгү болжол менен 5% түзөт.Беттик катмардын ичиндеги өлчөнгөн калдык көзөнөктүүлүк 1%дан бир топ төмөн.9(б)-сүрөттө 1700 °C температурада 2 саатка күйгүзүлгөндөн кийин дандын структурасы көрсөтүлгөн.Жыштык беттик катмардын калыңдыгы көбөйдү жана дандар беттик кондициялоо менен өзгөртүлбөгөн көлөмдөгү бүртүкчөлөргө караганда кыйла чоң.Бул орой бүртүкчөлүү абдан тыгыз катмар материалдын сойлоп каршылыгын жакшыртуу үчүн натыйжалуу болот.
Биз ар кандай инструмент басымы үчүн беттик катмардын калыңдыгына жана дан өлчөмүнө карата температурага көз карандылыгын изилдедик.10-сүрөттө Mo жана MoW30 үчүн беттик катмардын калыңдыгы үчүн репрезентативдик мисалдар көрсөтүлгөн.10(а)-сүрөттө көрсөтүлгөндөй, беттик катмардын баштапкы калыңдыгы иштетүүчү аспаптын жөндөөсүнө жараша болот.800 °C жогору күйдүрүү температурасында Mo беттик катмарынын калыңдыгы көбөйө баштайт.2000 °C катмарынын калыңдыгы 0,3 0,7 мм маанилерге жетет.MoW30 үчүн беттик катмардын калыңдыгынын өсүшү 10(b)-сүрөттө көрсөтүлгөндөй 1500 °Cден жогору температурада гана байкалат.Ошого карабастан 2000 °Cде MoW30 катмарынын калыңдыгы Mo менен абдан окшош.

Беттик катмардын калыңдыгынын анализи сыяктуу эле, 11-сүрөттө да күйгүзүү температурасынын функциясы катары беттик катмарда өлчөнгөн Mo жана MoW30 үчүн дан өлчөмүнүн орточо маалыматтары көрсөтүлгөн.Цифралардан көрүнүп тургандай, дан өлчөмү - өлчөө белгисиздигинин чегинде - колдонулган параметр орнотуусуна көз каранды эмес.Дан өлчөмүнүн өсүшү жер бетинин аянтынын деформациясынан келип чыккан беттик катмардын анормалдуу дан өсүшүн көрсөтөт.Молибден дандары 1100 °C жогору сыноо температурасында өсөт жана дан өлчөмү баштапкы дан өлчөмүнө салыштырмалуу 2000 °Cде дээрлик 3 эсе чоң.Беттик кондицияланган катмардын MoW30 дандары 1500 °C температурадан жогору өсө баштайт.2000 °C сыноо температурасында орточо дан өлчөмү баштапкы дан өлчөмүнөн болжол менен 2 эсе көп болот.
Кыскача айтканда, беттик кондициялоо техникасы боюнча биздин изилдөөлөрүбүз анын престелген агломерацияланган молибден вольфрам эритмелери үчүн жакшы колдонуларын көрсөтүп турат.Бул ыкманы колдонуу менен катуулугу жогорулаган беттерди, ошондой эле Ra 0,5 мкм төмөн болгон жылмакай беттерди алууга болот.Акыркы касиет газ көбүкчөлөрүн азайтуу үчүн өзгөчө пайдалуу.Беттик катмардагы калдык пороздук нөлгө жакын.Annealing жана microsection изилдөөлөр 500 мкм типтүү калыңдыгы менен өтө тыгыз беттик катмарын алууга мүмкүн экенин көрсөтүп турат.Муну менен иштетүү параметри катмардын калыңдыгын көзөмөлдөй алат.Адатта сапфирди өстүрүү ыкмаларында колдонулгандай шартталган материалды жогорку температурага дуушар кылганда, үстүнкү катмар беттик иштетилбегенге караганда дан өлчөмү 2-3 эсе чоңураак болуп, одоно бүртүкчөлүү болуп калат.Үстүнкү катмардагы дан өлчөмү иштетүү параметрлерине көз каранды эмес.Жер бетиндеги дан чектеринин саны натыйжалуу кыскартылат.Бул дандын чек аралары боюнча элементтердин диффузиясына каршы жогорку каршылыкка алып келет жана эрүү чабуулу төмөн.Кошумчалай кетсек, пресстелген молибден вольфрам эритмелеринин жогорку температурадагы сойлоо каршылыгы жакшыртылды.

Отко чыдамдуу металлдарда суюк глиноземди нымдоо изилдөөлөрү
Суюк глиноземди молибденге же вольфрамга нымдоо сапфир өнөр жайында негизги кызыгууну жаратат.Өзгөчө EFG процесси үчүн капиллярлардагы глиноземди нымдоо жүрүм-туруму сапфир таякчаларынын же ленталардын өсүү ылдамдыгын аныктайт.Тандалган материалдын, беттин тегиздигинин же процесстин атмосферасынын таасирин түшүнүү үчүн биз нымдоо бурчунун деталдуу өлчөөлөрүн жүргүздүк [11].
Нымдуу өлчөө үчүн 1 х 5 х 40 мм³ өлчөмүндөгү сыноо субстраттары Mo, MoW25 жана W барак материалдарынан даярдалган.Металл барак субстрат аркылуу жогорку электр тогун жөнөтүү менен глиноземанын эрүү температурасы 2050 °C жарым мүнөттүн ичинде жетишүүгө болот.Бурчтарды өлчөө үчүн кичинекей глинозем бөлүкчөлөрү барактын үлгүлөрүнүн үстүнө коюлуп, андан кийин

тамчыларга эрип кеткен.Автоматташтырылган сүрөттөө системасы эрүү тамчысын, мисалы 12-сүрөттө көрсөтүлгөндөй жазды. Ар бир эрүү тамчы эксперименти тамчылардын контурун талдоо аркылуу нымдоо бурчун өлчөөгө мүмкүндүк берет, 12(а)-сүрөттү жана субстраттын баштапкы сызыгын караңыз, адатта, өчүрүлгөндөн кийин көп өтпөй. жылытуу ток, 12(б) сүрөтүн караңыз.
Биз эки башка атмосферанын шарты үчүн нымдоо бурчтарын өлчөө жүргүздүк: 10-5мбардагы вакуум жана 900мбар басымдагы аргон.Мындан тышкары, беттин эки түрү, башкача айтканда, Ra ~ 1 мкм болгон орой беттер жана Ra ~ 0,1 мкм менен жылмакай беттер сыналган.
II таблица жылмакай беттер үчүн Mo, MoW25 жана W үчүн нымдоо бурчтары боюнча бардык өлчөөлөрдүн натыйжаларын жалпылайт.Жалпысынан алганда, Mo нымдоо бурчу башка материалдарга салыштырмалуу кичине.Бул глиноземдин эритмеси Mo мыкты нымдап жатканын билдирет, бул EFG өстүрүү техникасында пайдалуу.Аргон үчүн алынган нымдоо бурчтары вакуумдук бурчтарга караганда бир кыйла төмөн.Орой субстрат беттери үчүн биз системалуу түрдө бир аз төмөн нымдуу бурчтарды табабыз.Бул маанилер адатта II таблицада берилген бурчтардан 2° төмөн.Бирок, өлчөө белгисиздигинен улам жылмакай жана орой беттердин ортосунда эч кандай олуттуу бурч айырмасы билдирилбейт.

Биз нымдоо бурчтарын башка атмосфера басымы үчүн да өлчөгөнбүз, башкача айтканда 10-5 мбар жана 900 мбар ортосундагы маанилер.Алдын ала талдоо көрсөткөндөй, 10-5 мбар жана 1 мбар ортосундагы басымда нымдоочу периште өзгөрбөйт.1 мбардан жогору гана нымдоо бурчу 900 мбар аргондо байкалгандан төмөн болот (2-таблица).Атмосфералык шарттан тышкары, глиноземдин эритмесинин нымдоо жүрүм-турумунун дагы бир маанилүү фактору кычкылтектин жарым-жартылай басымы болуп саналат.Биздин тесттер эритме жана металл субстраттарынын ортосундагы химиялык өз ара аракеттенүү толук өлчөө узактыгы (адатта 1 мүнөт) ичинде ишке ашарын көрсөтүп турат.Биз Al2O3 молекулаларынын эритүү процесстеринен, эритме тамчысынын жанында субстрат материалы менен өз ара аракеттенген башка кычкылтек компоненттерине күмөн санайбыз.Азыркы учурда нымдоо бурчунун басымга көз карандылыгын жана эритменин отко чыдамдуу металлдар менен химиялык өз ара аракеттенүүсүн дагы деталдуу изилдөө үчүн кошумча изилдөөлөр уланууда.