Sapphire ke thepa e thata, e sa sebetsaneng le e matla e nang le mocheso o phahameng oa ho qhibiliha, ha e na lik'hemik'hale tse ngata, 'me e bontša lintho tse thahasellisang tsa optical.Ka hona, safire e sebelisoa bakeng sa lits'ebetso tse ngata tsa mahlale moo masimo a mantlha a indasteri e leng optics le elektroniki.Kajeno karolo e kholo ka ho fetisisa ea safire ea indasteri e sebelisoa e le karoloana bakeng sa tlhahiso ea LED le semiconductor, e lateloa ke ts'ebeliso e le lifensetere tsa lioache, likarolo tsa mohala oa thekeng kapa li-bar code scanner, ho bolela mehlala e seng mekae [1].Kajeno, mekhoa e fapaneng ea ho holisa kristale e le 'ngoe ea safire e fumaneha, tlhahlobo e ntle e ka fumanoa mohlala ho [1, 2].Leha ho le joalo, mekhoa e meraro e ntseng e hola ea Kyropoulos process (KY), mokhoa oa ho fapanyetsana mocheso (HEM) le khōlo e fepetsoeng ka filimi (EFG) e etsang karolo e fetang 90% ea bokhoni ba tlhahiso ea safire lefatšeng ka bophara.

Teko ea pele ea kristale e entsoeng ka maiketsetso e entsoe 1877 bakeng sa likristale tse nyane tsa ruby ​​[2].Ka 1926 ho ile ha qaptjoa mokhoa oa Kyropoulos.E sebetsa ka vacuum 'me e lumella ho hlahisa li-boules tse kholo tsa sebopeho sa cylindrical tsa boleng bo phahameng haholo.Mokhoa o mong o khahlisang oa ho holisa safire ke kholo e fepetsoeng ka filimi.Mokhoa oa EFG o ipapisitse le mocha oa capillary o tlatsitsoeng ka mokelikeli o qhibilihang 'me o lumella ho holisa likristale tsa safire tse kang melamu, li-tubes kapa lishiti (tseo hape li bitsoang liribone).Ho fapana le mekhoa ena mokhoa oa ho fapanyetsana mocheso, o tsoetsoeng ho elella bofelong ba lilemo tsa bo-1960, o lumella ho hōla li-boules tse khōlō tsa safire ka har'a crucible e otlolohileng ka sebōpeho sa crucible ka ho tlosoa mocheso o hlalositsoeng ho tloha tlaase.Hobane "sapphire boule" e khomarela crucible qetellong ea ts'ebetso ea ho hōla, li-boules li ka phunyeha ka mokhoa o pholileng 'me crucible e ka sebelisoa hanngoe feela.
E 'ngoe le e' ngoe ea mahlale ana a ho holisa kristale ea safire e tšoana ka hore likarolo tsa mantlha - haholo-holo li-crucibles - li hloka litšepe tse nang le mocheso o phahameng oa mocheso.Ho ipapisitsoe le mokhoa o ntseng o hola, li-crucibles li entsoe ka molybdenum kapa tungsten, empa litšepe li boetse li sebelisoa haholo bakeng sa li-heaters tse hanyetsanang, li-die-packs le li-hot-zone shieldings [1].Leha ho le joalo, pampiring ena re shebana le puisano ea rona ho lihlooho tse amanang le KY le EFG kaha li-crucibles tse hatelitsoeng li sebelisoa lits'ebetsong tsena.
Tlalehong ena re fana ka lithuto tsa sebopeho sa thepa le lipatlisiso mabapi le boemo bo holimo ba lisebelisoa tse hatelitsoeng tse kang molybdenum (Mo), tungsten (W) le lialloys tsa eona (MoW).Karolong ea pele re tsepamisa maikutlo ho data ea mochini oa mocheso o phahameng le ductile ho brittle phetoho mocheso.Tlatsetso ho thepa ea mochini re ithutile thepa ea thermo-physical, ke hore, coefficient ea katoloso ea mocheso le conductivity ea mocheso.Karolong ea bobeli re hlahisa lithuto tsa mokhoa oa ho lokisa holim'a metsi ka ho khetheha ho ntlafatsa ho hanyetsa ha li-crucibles tse tletseng alumina melt.Karolong ea boraro re tlaleha ka litekanyo tsa li-angles tse kolobisang tsa alumina ea metsi holim'a litšepe tse refractory ho 2100 ° C.Re entse liteko tsa ho theoha ha metsi ka Mo, W le MoW25 alloy (75 wt.% molybdenum, 25 wt.% tungsten) le ho ithuta ho itšetleha ka maemo a fapaneng a sepakapaka.Ka lebaka la liphuputso tsa rona re sisinya MoW e le ntho e khahlang ho litheknoloji tsa kholo ea safire hape e le mokhoa o ka bang teng ho fapana le pure molybdenum le tungsten.
Mocheso o phahameng oa mocheso le thepa ea thermo-physical
Mekhoa ea ho holisa kristale ea safire KY le EFG e sebetsa habonolo bakeng sa karolo e fetang 85% ea karolo ea lefatše ea safire.Mekhoeng ena ka bobeli, alumina ea metsi e kenngoa ka har'a li-crucibles tse hatelitsoeng, tse atisang ho etsoa ka tungsten bakeng sa ts'ebetso ea KY 'me e entsoe ka molybdenum bakeng sa ts'ebetso ea EFG.Li-crucibles ke likarolo tsa bohlokoa tsa sistimi bakeng sa lits'ebetso tsena tse ntseng li hola.Ka morero oa ho fokotsa litšenyehelo tsa li-tungsten crucibles ts'ebetsong ea KY hammoho le ho eketsa nako ea bophelo ea molybdenum crucibles ts'ebetsong ea EFG, re ile ra hlahisa le ho leka ho eketsa li-alloys tse peli tsa MoW, e leng MoW30 e nang le 70 wt.% Mo le 30 wt. % W le MoW50 tse nang le 50 wt.% Mo le W ka nngwe.
Bakeng sa lithuto tsohle tsa sebopeho sa lintho tse bonahalang re hlahisitse li-ingots tse hatelitsoeng tsa Mo, MoW30, MoW50 le W. Lethathamo la I le bonts'a density le boholo ba lijo-thollo tse tsamaellanang le maemo a pele a thepa.

Lethathamo la I: Kakaretso ea lisebelisoa tse hatelitsoeng-sintered tse sebelisetsoang litekanyo ka thepa ea mochini le ea thermo-physical.Tafole e bonts'a boima le boholo ba lijo-thollo tse tloaelehileng tsa linaha tsa pele tsa thepa

Hobane li-crucibles li pepesehetse mocheso o phahameng ka nako e telele, re ile ra etsa liteko tse matla haholo tsa mocheso o pakeng tsa 1000 ° C le 2100 ° C.Setšoantšo sa 1 se akaretsa liphetho tsena tsa Mo, MoW30, le MoW50 moo matla a tlhahiso ea 0.2 % (Rp0.2) le bolelele ba ho robeha (A) bo bontšoang.Ha ho bapisoa, ntlha ea data ea W e hatelitsoeng-sintered e bonts'oa ho 2100 ° C.
Bakeng sa tungsten e loketseng e tiileng ka har'a molybdenum Rp0.2 e lebelletsoe ho eketseha ha e bapisoa le thepa e hloekileng ea Mo.Bakeng sa lithempereichara tse fihlang ho 1800 °C ka bobeli li-alloys tsa MoW li bonts'a bonyane makhetlo a 2 ho feta Rp0.2 ho feta bakeng sa Mo, bona Setšoantšo sa 1(a).Bakeng sa mocheso o phahameng ke MoW50 feela e bonts'ang Rp0.2 e ntlafalitsoeng haholo.E hatelitsoeng-sintered W e bonts'a Rp0.2 e phahameng ka ho fetisisa ho 2100 °C.Liteko tsa khatello li senola hape A joalo ka ha ho bonts'itsoe ho Setšoantšo sa 1(b).Ka bobeli li-alloys tsa MoW li bonts'a bolelele bo ts'oanang haholo ho boleng ba ho robeha boo hangata e leng halofo ea boleng ba Mo. A batlang e le hodimo ea tungsten ka 2100 °C e lokela ho bakoa ke sebopeho sa eona se setle haholo ha se bapisoa le Mo.
Ho fumana hore na mocheso oa phetoho ea ductile ho brittle transition (DBTT) oa li-alloys tsa tungsten tse hatelitsoeng tsa molybdenum, le litekanyo tse lehlakoreng la ho kobeha li ile tsa etsoa ka mocheso o fapaneng oa liteko.Liphetho li bontšoa ho Setšoantšo sa 2. DBTT e eketseha ka ho eketseha ha tungsten content.Le hoja DBTT ea Mo e batla e le tlaase hoo e ka bang 250 °C, li-alloys MoW30 le MoW50 li bontša DBTT ea hoo e ka bang 450 °C le 550 °C, ka ho latellana.

Ho tlatsana le sebopeho sa mochini re boetse re ithutile thepa ea thermo-physical.The coefficient of thermal expansion (CTE) e ne e lekantsoe ka push-rod dilatometer [3] sebakeng sa mocheso ho fihla ho 1600 °C ho sebelisoa mohlala o nang le Ø5 mm le 25 mm bolelele.Litekanyo tsa CTE li bontšoa ho Setšoantšo sa 3. Lisebelisoa tsohle li bontša ho itšetleha ka mokhoa o ts'oanang haholo oa CTE ka mocheso o ntseng o eketseha.Litekanyetso tsa CTE bakeng sa li-alloys MoW30 le MoW50 li pakeng tsa boleng ba Mo le W. Hobane porosity e setseng ea thepa e hatelitsoeng e sa tsitsa ebile e na le li-pores tse nyenyane ka bomong, CTE e fumanoeng e tšoana le lisebelisoa tse phahameng tse kang maqephe le lithupa [4].
Thermal conductivity ea thepa e hatelitsoeng-sintered e ile ea fumanoa ka ho lekanya bobeli ba mocheso oa mocheso le mocheso o khethehileng oa mohlala o nang le Ø12.7 mm le 3.5 mm botenya o sebelisa mokhoa oa laser flash [5, 6].Bakeng sa lisebelisoa tsa isotropic, tse kang lisebelisoa tse hatelitsoeng-sintered, mocheso o khethehileng o ka lekanyetsoa ka mokhoa o tšoanang.Litekanyo li nkiloe mochesong o pakeng tsa 25 °C le 1000 °C.Ho bala conductivity ea mocheso re ile ra sebelisa ho phaella ho densities thepa joalokaha ho bontšitsoe Tafole I le ho nka mocheso ikemetseng densities.Setšoantšo sa 4 se bonts'a sephetho sa mocheso oa mocheso oa Mo, MoW30, MoW50 le W. Thermal conductivity

Li-alloys tsa MoW li ka tlase ho 100 W/mK bakeng sa lithempereichara tsohle tse batlisisitsoeng le tse nyane haholo ha li bapisoa le molybdenum e hloekileng le tungsten.Ho feta moo, li-conductivity tsa Mo le W li fokotseha ka mocheso o ntseng o eketseha ha conductivity ea motsoako oa MoW e bontša litekanyetso tse ntseng li eketseha ka mocheso o ntseng o eketseha.
Lebaka la phapang ena ha le so fuputswe mosebetsing ona mme e tla ba karolo ya dipatlisiso tse tlang.Hoa tsebahala hore bakeng sa tšepe karolo e laolang ea conductivity ea mocheso ka mocheso o tlase ke monehelo oa phonon ha mocheso o le mocheso oa khase ea elektronike e laola mocheso oa mocheso [7].Lifonone li angoa ke ho se phethahale ha lintho tse bonahalang le mefokolo.Leha ho le joalo, ho eketseha ha mocheso oa mocheso sebakeng sa mocheso o tlaase ha ho hlokomeloe feela bakeng sa li-alloys tsa MoW empa le bakeng sa lisebelisoa tse ling tse tiileng tse kang tungsten-rhenium [8], moo monehelo oa elektronike o phethang karolo ea bohlokoa.
Papiso ea thepa ea mochini le ea thermo-physical e bontša hore MoW ke lisebelisoa tse khahlisang bakeng sa lits'ebetso tsa safire.Bakeng sa mocheso o phahameng> 2000 °C matla a tlhahiso a phahame ho feta a molybdenum mme nako e telele ea bophelo ea li-crucibles e lokela ho khoneha.Leha ho le joalo, thepa e fetoha e brittle haholoanyane 'me machining le ho tšoara li lokela ho fetoloa.Thekiso ea mocheso e fokolitsoeng haholo ea MoW e hatelitsoeng-sintered joalo ka ha e bonts'itsoe ho Setšoantšo sa 4 e bonts'a hore maemo a feto-fetohang a ho futhumatsa le a pholileng a sebōpi se ntseng se hola a ka hlokahala.Haholo-holo karolong ea mocheso, moo alumina e lokelang ho qhibiliha ka har'a crucible, mocheso o tsamaisoa feela ke crucible ho ea ho eona e tlatsang lintho tse tala.Ho fokotsa mocheso oa mocheso oa MoW o lokela ho nkoa e le ho qoba khatello e phahameng ea mocheso ka har'a crucible.Lethathamo la litekanyetso tsa CTE tsa li-alloys tsa MoW li thahasellisa ho latela mokhoa oa ho holisa kristale oa HEM.Joalo ka ha ho buisanoa ka tšupiso [9] CTE ea Mo e baka ho thijoa ha safire sebakeng se phodileng.Ka hona, CTE e fokotsehileng ea motsoako oa MoW e ka 'na ea e-ba senotlolo sa ho lemoha li-crucibles tse ka sebelisoang hape bakeng sa ts'ebetso ea HEM.
Ho lokisa holim'a litšepe tse hatelitsoeng-sintered refractory
Joalokaha ho boletsoe selelekeleng, li-crucibles tse hatelitsoeng-sintered hangata li sebelisoa lits'ebetsong tsa kholo ea kristale ea safire ho futhumatsa le ho boloka alumina e qhibiliha hanyane kaholimo ho 2050 ° C.Tlhokahalo e 'ngoe ea bohlokoa bakeng sa boleng ba kristale ea safire ke ho boloka litšila le lipompo tsa khase li qhibiliha ka tlase kamoo ho ka khonehang.Likarolo tse hatelitsoeng-sintered li na le porosity e setseng 'me li bonts'a sebopeho se setle sa grained.Mohaho ona o motle o nang le porosity e koetsoeng o senyeha habonolo ho senyeha ha tšepe haholo-holo ka ho qhibiliha ha oxidic.Bothata bo bong bakeng sa likristale tsa safire ke li-bubble tse nyane tsa khase ka har'a ho qhibiliha.Sebopeho sa li-bubble tsa khase se matlafatsoa ke ho eketseha ha bokaholimo ba karolo ea refractory e amanang le ho qhibiliha.

Ho hlola litaba tsena tsa lisebelisoa tse hatelletsoeng, re sebelisa ts'ebetso ea mochini.Re ile ra leka mokhoa ona ka sesebelisoa sa ho hatella moo sesebelisoa sa ceramic se sebetsang holimo tlas'a khatello e hlalositsoeng ea karolo e hatelitsoeng [10].Khatello e sebetsang e hatellang holim'a metsi e fapane ho itšetlehile ka sebaka sa ho kopana sa sesebelisoa sa ceramic nakong ena ea boemo bo holimo.Ka phekolo ena khatello e phahameng ea khatello e ka sebelisoa sebakeng sa heno holim'a lisebelisoa tse hatelitsoeng-sintered 'me holim'a thepa e holofetse ka polasetiki.Setšoantšo sa 5 se bontša mohlala oa mohlala oa molybdenum o hatisitsoeng o sebelisitsoeng ka mokhoa ona.
Setšoantšo sa 6 se bontša ka mokhoa o nepahetseng ho itšetleha ha khatello e sebetsang ea khatello holim'a khatello ea sesebelisoa.Lintlha li nkiloe litekanyong tsa lintlha tse sa fetoheng tsa sesebelisoa ho molybdenum e hatisitsoeng.Mohala o emela ho lekana ho data ho latela mohlala oa rona.

Setšoantšo sa 7 se bonts'a liphetho tsa tlhahlobo tse akaretsoang bakeng sa boima ba bokaholimo le litekanyo tsa boima ba holim'a metsi e le ts'ebetso ea khatello ea lisebelisoa bakeng sa lisebelisoa tse fapaneng tse hatelitsoeng tse lokiselitsoeng joalo ka li-disk.Joalokaha ho bontšitsoe setšoantšong sa 7 (a) phekolo e fella ka ho thatafala ha holimo.Ho thatafala ha lisebelisoa tse lekiloeng tsa Mo le MoW30 ho eketsoa ka hoo e ka bang 150%.Bakeng sa likhatello tse phahameng tsa lisebelisoa, boima ha bo eketsehe.Setšoantšo sa 7(b) se bontša hore libaka tse boreleli haholo tse nang le Ra tse tlase ho 0.1 μm bakeng sa Mo lia khoneha.Bakeng sa likhatello tse ntseng li eketseha tsa lisebelisoa, bokhopo ba Mo bo eketseha hape.Hobane MoW30 (le W) ke lisebelisoa tse thata ho feta Mo, litekanyetso tsa Ra tse fihletsoeng tsa MoW30 le W hangata li phahame ka makhetlo a 2-3 ho feta Mo. Ho fapana le Mo, ho ba le bokaholimo ba W ho fokotseha ka ho sebelisa likhatello tse phahameng tsa lisebelisoa ka har'a lekoa parameter range.
Liphuputso tsa rona tsa electron microscopy (SEM) tsa libaka tse nang le maemo li tiisa lintlha tsa ho hlaka holimo, bona Setšoantšo sa 7(b).Joalo ka ha ho bonts'itsoe ho Setšoantšo sa 8(a), likhatello tse phahameng haholo tsa lisebelisoa li ka baka tšenyo ea bokaholimo ba lijo-thollo le li-microcracks.Boemo ba khatello ea maikutlo bo phahameng haholo bo ka baka le ho tlosoa ha lijo-thollo holim'a metsi, bona setšoantšo sa 8 (b).Litlamorao tse ts'oanang li ka bonoa bakeng sa MoW le W maemong a itseng a machining.
Ho ithuta ka phello ea mokhoa oa ho lokisa holim'a metsi mabapi le sebopeho sa lijo-thollo tse ka holim'a metsi le boitšoaro ba mocheso oa eona, re lokiselitse lisampole tsa annealing ho tsoa ho li-disk tse tharo tsa liteko tsa Mo, MoW30 le W.

Mehlala e ile ea phekoloa ka lihora tse 2 ka mocheso o fapaneng oa liteko ho tloha ho 800 ° C ho isa ho 2000 ° C 'me li-microsections li lokiselitsoe tlhahlobo ea microscopy e khanyang.
Setšoantšo sa 9 se bontša mehlala ea microsection ea molybdenum e hatelitsoeng.Boemo ba pele ba sebaka se phekotsoeng se hlahisoa ho Setšoantšo sa 9 (a).Bokaholimo bo bonts'a lera le batlang le teteane ka har'a mefuta e ka bang 200 μm.Ka tlas'a lera lena mohaho o tloaelehileng oa thepa o nang le li-pores tse sintering o bonahala, porosity e setseng e ka bang 5%.Tekanyo ea masala a porosity ka har'a lera le ka holimo e ka tlase ho 1%.Setšoantšo sa 9(b) se bontša sebopeho sa lijo-thollo ka mor'a ho anneal bakeng sa 2 h ho 1700 °C.Botenya ba bokaholimo bo teteaneng bo eketsehile 'me lithollo li kholo haholo ho feta lithollo tsa molumo tse sa fetoloang ka boemo ba bokaholimo.Lera lena le teteaneng haholo le mahoashe-grained le tla sebetsa ho ntlafatsa khanyetso ea lintho tse bonahalang.
Re ithutile ho itšetleha ka mocheso oa lera la bokaholimo mabapi le botenya le boholo ba lijo-thollo bakeng sa likhatello tse fapaneng tsa lisebelisoa.Setšoantšo sa 10 se bonts'a mehlala e emelang botenya ba bokaholimo ba Mo le MoW30.Joalo ka ha ho bonts'itsoe Setšoantšong sa 10(a) botenya ba pele ba bokaholimo bo ipapisitse le sesebelisoa sa mochini.Mocheso oa mocheso o ka holimo ho 800 °C botenya ba bokaholimo ba Mo bo qala ho eketseha.Ka 2000 °C botenya ba lera bo fihla ho boleng ba 0.3 ho isa ho 0.7 mm.Bakeng sa MoW30 keketseho ea botenya ba bokaholimo bo ka bonoa feela bakeng sa mocheso o kaholimo ho 1500 °C joalo ka ha ho bonts'itsoe Setšoantšo sa 10(b).Leha ho le joalo ho 2000 °C botenya ba MoW30 bo ts'oana haholo le Mo.

Joalo ka tlhahlobo ea botenya ba bokaholimo ba bokaholimo, Setšoantšo sa 11 se bonts'a lintlha tse tloaelehileng tsa boholo ba lijo-thollo bakeng sa Mo le MoW30 tse lekantsoeng ka holim'a lera e le ts'ebetso ea lithempereichara tse koalang.Joalo ka ha ho ka nahanoa ho tsoa lipalong, boholo ba lijo-thollo bo - ka har'a ho se tsitse ha tekanyo - bo ikemetseng ho setupong sa parameter e sebelisitsoeng.Khōlo ea boholo ba lijo-thollo e bontša kholo e sa tloaelehang ea lijo-thollo tsa bokaholimo bo bakoang ke ho senyeha ha sebaka se ka holimo.Litholoana tsa molybdenum li hola mochesong oa liteko ho feta 1100 ° C mme boholo ba lijo-thollo bo batla bo feta makhetlo a 3 ho 2000 ° C ha bo bapisoa le boholo ba lijo-thollo tsa pele.Lithollo tsa MoW30 tsa lera le nang le maemo a holimo li qala ho hola kaholimo ho mocheso oa 1500 °C.Tekong ea mocheso oa 2000 °C boholo ba lijo-thollo bo ka bang makhetlo a 2 ho feta boholo ba lijo-thollo tsa pele.
Ka kakaretso, liphuputso tsa rona mabapi le mokhoa oa ho lokisa holim'a metsi li bontša hore o sebetsa hantle bakeng sa li-alloys tsa tungsten tsa molybdenum.Ho sebelisa mokhoa ona, ho ka fumanoa libaka tse nang le boima bo eketsehileng hammoho le libaka tse boreleli tse nang le Ra hantle ka tlase ho 0.5 μm.Thepa ea ho qetela e molemo haholo bakeng sa phokotso ea bubble ea khase.Porosity e setseng karolong e ka holimo e haufi le zero.Liphuputso tsa Annealing le microsection li bontša hore ho ka fumanoa lera le teteaneng haholo le nang le botenya bo tloaelehileng ba 500 μm.Ka tsela ena, parameter ea machining e ka laola botenya ba lera.Ha o pepesetsa thepa e halikiloeng mochesong o phahameng joalo ka ha e sebelisoa mekhoeng ea ho hola safire, bokaholimo bo fetoha bo khoroana ka boholo ba lijo-thollo ka makhetlo a 2-3 ho feta ntle le mochini oa mochini.Boholo ba lijo-thollo karolong e ka holimo bo itšetlehile ka mekhoa ea machining.Palo ea meeli ea lijo-thollo holim'a metsi e fokotsehile ka katleho.Sena se lebisa ho khanyetso e phahameng khahlano le phallo ea lintho tse haufi le meeli ea lijo-thollo mme tlhaselo ea ho qhibiliha e tlase.Ho feta moo, ho hanyetsa mocheso o phahameng oa li-alloys tse hatelitsoeng tsa molybdenum tungsten lia ntlafatsoa.

Lithuto tsa ho kolobisa alumina ea metsi holim'a litšepe tse refractory
Ho kolobisoa ha alumina ea mokelikeli holim'a molybdenum kapa tungsten ho bohlokoa haholo indastering ea safire.Haholo-holo bakeng sa ts'ebetso ea EFG, mokhoa oa ho koloba oa alumina ka har'a li-capillaries tsa die-pack o lekanya sekhahla sa kholo ea lithupa tsa safire kapa liribone.Ho utloisisa tšusumetso ea thepa e khethiloeng, ho hlaka holimo kapa sepakapaka sa tšebetso re ile ra etsa litekanyo tse qaqileng tsa li-angle tsa wetting [11].
Bakeng sa litekanyo tsa ho koloba, likaroloana tsa liteko tsa boholo ba 1 x 5 x 40 mm³ li ile tsa hlahisoa ho tsoa ho lisebelisoa tsa Mo, MoW25 le W sheet.Ka ho romela motlakase o phahameng ka letlapa la tšepe substrate mocheso o qhibilihang oa alumina oa 2050 ° C o ka finyelloa nakong ea halofo ea motsotso.Bakeng sa litekanyo tsa angle likaroloana tse nyenyane tsa alumina li ile tsa behoa holim'a lisampole tsa lakane 'me ka mor'a moo

qhibilihile ho ba marothodi.Mokhoa o ikemetseng oa ho nka litšoantšo o tlalehile lerotholi la ho qhibiliha joalokaha ho bontšitsoe mohlala ho Setšoantšo sa 12. Teko e 'ngoe le e' ngoe ea ho qhibiliha e lumella ho lekanya angle ea ho koloba ka ho hlahloba contour ea marotholi, bona setšoantšo sa 12 (a), le substrate baseline hangata nakoana ka mor'a ho tima. ho futhumatsa hona joale, sheba Setšoantšo sa 12(b).
Re entse litekanyo tsa li-angle tsa ho koloba bakeng sa maemo a mabeli a fapaneng a sepakapaka, vacuum ho 10-5mbar le argon ka khatello ea 900 mbar.Ho feta moo, ho ile ha lekoa mefuta e 'meli ea holim'a metsi, e leng libaka tse thata tse nang le Ra ~ 1 μm le libaka tse boreleli tse nang le Ra ~ 0.1 μm.
Letlapa la II le akaretsa liphetho tsa litekanyo tsohle ho li-angles tsa ho koloba tsa Mo, MoW25 le W bakeng sa libaka tse boreleli.Ka kakaretso, angle ea ho koloba ea Mo e nyane haholo ha e bapisoa le lisebelisoa tse ling.Sena se bolela hore alumina e qhibiliha e kolobisa Mo ka ho fetisisa e leng molemo ka mokhoa oa ho holisa EFG.Li-angles tse kolobisang tse fumanoeng bakeng sa argon li tlase haholo ho feta li-angles tsa vacuum.Bakeng sa libaka tse mahoashe tsa substrate re fumana li-angles tse tlase tsa ho koloba ka mokhoa o hlophisehileng.Litekanyetso tsena hangata li tlase ka 2° ho feta li-angles tse fanoeng ho Lethathamo la II.Leha ho le joalo, ka lebaka la ho se kholisehe ha litekanyo, ha ho phapang e khōlō ea angle pakeng tsa libaka tse boreleli le tse makukuno tse ka tlalehoang.

Re ile ra lekanya li-angles tsa ho koloba hape bakeng sa likhatello tse ling tsa sepakapaka, ke hore, boleng bo pakeng tsa 10-5 mbar le 900 mbar.Tlhahlobo ea pele e bontša hore bakeng sa likhatello pakeng tsa 10-5 mbar le 1 mbar lengeloi le kolobisang ha le fetohe.Ke feela ka holimo ho 1 mbar angle ea ho koloba e ba tlase ho feta e bonoang ho 900 mbar argon (Letlapa la II).Ntle le boemo ba sepakapaka, ntlha e 'ngoe ea bohlokoa bakeng sa boitšoaro ba ho kolobisa ha alumina e qhibiliha ke khatello ea karolo ea oksijene.Liteko tsa rona li fana ka maikutlo a hore tšebelisano ea lik'hemik'hale lipakeng tsa ho qhibiliha le likaroloana tsa tšepe li etsahala nakong ea tekanyo e felletseng (hangata motsotso o le mong).Re belaela ho qhibiliha ha limolek'hule tsa Al2O3 ho likarolo tse ling tsa oksijene tse sebelisanang le thepa ea substrate haufi le marotholi a qhibilihang.Liphuputso tse ling li ntse li tsoela pele ho batlisisa ka botlalo ho itšetleha ka khatello ea angle ea ho koloba le likamano tsa lik'hemik'hale tsa ho qhibiliha ka litšepe tse refractory.