Катуу материалга аба ионунун шооласы өтөт, ион шооласы катуу материалдын атомдоруна же молекулаларына катуу материалдын бетине өтөт, бул кубулуш ион шооласы чачыратуу деп аталат; ал эми катуу материал катуу материалдын бетине кайтып келгенде же катуу материалдан чыкканда, бул кубулуш чачыратуу деп аталат; дагы бир кубулуш бар, андан кийин ион шооласы катуу материалга өтүп, каршылыкты акырындык менен азайтып, акыры катуу материалда калат, бул кубулуш ион имплантациясы деп аталат.
Ион имплантациялоо ыкмасы:
Бул акыркы 30 жылда дүйнөдө тездик менен өнүгүп, кеңири колдонулган материалдык бетти модификациялоо технологиясынын бир түрү. Негизги принцип - 100 кэВ тартиптеги материалга түшкөн ион нурунун энергиясын ион нуруна жана материалдарга колдонуу, атомдор же молекулалар бир катар физикалык жана химиялык өз ара аракеттенүүлөрдү жүргүзөт, түшкөн ион энергиясы акырындык менен жоголот, материалдагы акыркы аялдама жана материалдык беттин түзүлүшүн жана касиеттерин өзгөртөт. Материалдардын беттик касиеттерин оптималдаштыруу же кээ бир жаңы касиеттерди алуу үчүн. Жаңы технология өзүнүн уникалдуу артыкчылыктарынан улам легирленген жарым өткөргүч материалдарда, металлда, керамикада, полимерде, бетти модификациялоодо кеңири колдонулуп, чоң экономикалык жана социалдык пайдаларга жетишти.
Микроэлектрондук технологияда маанилүү легирлөө технологиясы катары ион имплантациясы материалдардын беттик касиеттерин оптималдаштырууда маанилүү ролду ойнойт. Ион имплантациялоо технологиясы материалдын өтө жогорку температуралык көрсөткүчтөрүнө жана химиялык коррозияга туруктуулугуна ээ. Ошондуктан, иондоштуруу камерасынын негизги бөлүктөрү вольфрам, молибден же графит материалдарынан жасалган. Гемей көп жылдык өнөр жай изилдөө жана өндүрүү боюнча вольфрам молибден материалын ион имплантациялоо жолу менен иштеп, өндүрүш процесси туруктуу жана бай тажрыйбага ээ.
Иондук имплантация үчүн популярдуу продукциялар
