аст, чӯбро ion ҳаво ҷиддӣ ба маводи сахт нест, чӯбро ion ба атомҳои маводи сахт ё молекулаҳои ба сатҳи маводи сахт, ин падидаи номида sputtering чӯбро ion;ва ваќте ки маводи сахт баргашт, сатњи маводи сахт ба ин њодисањо пароканда мешавад;падидаи дигар вуҷуд дорад, ки пас аз шуои ион ба маводи сахт бо маводи сахт ва кам кардани муқовимат оҳиста-оҳиста ва дар ниҳоят дар маводи сахт боқӣ мемонад, ин падида имплантатсияи ион номида мешавад.
Техникаи имплантатсияи ион:
Ин як навъ технологияи тағир додани сатҳи моддӣ мебошад, ки дар тӯли 30 соли охир дар ҷаҳон босуръат таҳия ва ба таври васеъ истифода мешавад.Принсипи асосӣ ин аст, ки истифодаи энергияи нури ионҳо ба миқдори 100кеВ мавод ба нури ионҳо ва маводи атомҳо ё молекулаҳо як қатор таъсири мутақобилаи физикӣ ва кимиёвӣ хоҳанд буд, талафоти энергияи ион тадриҷан, истгоҳи охирин дар мавод, ва боиси сохтор ва хосиятҳои таркиби сатҳи моддӣ, тағйир.Бо мақсади оптимизатсияи хосиятҳои сатҳи мавод, ё ба даст овардани баъзе хосиятҳои нав.Технологияи нав аз сабаби афзалиятҳои беназири худ, дар маводи нимноқилӣ, металлӣ, сафолӣ, полимерӣ буд, модификацияи рӯизаминӣ васеъ истифода мешавад, фоидаҳои бузурги иқтисодӣ ва иҷтимоӣ ба даст овард.
Имплантатсияи ион ҳамчун технологияи муҳими допинг дар технологияи микроэлектронӣ дар оптимизатсияи хосиятҳои рӯизаминии маводҳо нақши калидӣ мебозад.Технологияи имплантатсияи ионӣ иҷрои ҳарорати хеле баланд ва муқовимат ба муқовимати зангзании кимиёвии мавод мебошад.Аз ин рӯ, қисмҳои асосии камераи ионизатсия аз маводи волфрам, молибден ё графит сохта шудаанд.Gemei солҳои тадқиқоти саноатӣ ва истеҳсоли тавассути имплантатсияи ion маводи молибдени волфрам, раванди истеҳсолот таҷрибаи устувор ва бой дорад.
Маҳсулоти гарм барои имплантатсияи ион
