Pane danda remhepo rakakomba reion rinopinda muchinhu chakasimba, maatomu kana mamorekuru eion achienda kune chinhu chakasimba pamusoro pechinhu chakasimba, chiitiko ichi chinonzi ion beam sputtering; uye kana chinhu chakasimba, pamusoro pechinhu chakasimba painodzokera shure, kana kuti kubva pane chinhu chakasimba kuenda kune izvi zviitiko kunonzi scattering; pane chimwe chiitiko ndechekuti mushure mekunge danda reion kuenda kune chinhu chakasimba nechinhu chakasimba uye kuderedza kuramba zvishoma nezvishoma, uye pakupedzisira kugara muzvinhu zvakasimba, chiitiko ichi chinonzi ion implantation.
Maitiro ekuisa maIon:
Imhando ye tekinoroji yekugadzirisa pamusoro pezvinhu yakakurumidza kushandiswa munyika mumakore makumi matatu apfuura. Nheyo huru ndeyekushandisa simba re ion beam incident kusvika pa 100keV material kusvika pa ion beam uye zvinhu zvemaatomu kana mamorekuru zvichave zvakatevedzana zvekudyidzana kwepanyama nemakemikari, kurasikirwa kwesimba re ion incident zvishoma nezvishoma, kumira kwekupedzisira muzvinhu, uye kukonzera chimiro uye hunhu hwezvinhu pamusoro pezvinhu, kuchinja. Kuti zviwedzere hunhu hwepamusoro hwezvinhu, kana kuti kuwana zvimwe zvinhu zvitsva. Tekinoroji itsva nekuda kwezvakanaka zvayo zvakasiyana, yave iri mu doped semiconductor material, simbi, ceramic, polymer, surface modification inoshandiswa zvakanyanya, yakawana mabhenefiti makuru ehupfumi nemagariro.
Kuisa maion senzira yakakosha yekushandisa mishonga yekurapa mu micro electronic tekinoroji kunoita basa guru mukuvandudza hunhu hwepamusoro hwezvinhu. Tekinoroji yekuisa maion inoshanda zvakanyanya pakupisa uye inodzivirira ngura yemakemikari yezvinhu. Nokudaro, zvikamu zvikuru zvekamuri yekuisa maion zvakagadzirwa nezvinhu zve tungsten, molybdenum kana graphite. Makore akawanda ekutsvaga nekugadzira zvinhu zve tungsten molybdenum, maitiro ekugadzira ane ruzivo rwakagadzikana uye rwakapfuma.
Zvigadzirwa Zvinopisa zveIon Implantation
