Қатты материалға қатты ауаның иондық сәулесі, қатты материалдың атомдарына немесе молекулаларына иондық сәуленің қатты материалдың бетіне өтеді, бұл құбылыс иондық сәуленің шашырауы деп аталады;ал қатты материал, қатты материалдың беті кері серпілгенде немесе қатты материалдан осы құбылыстарға шашырау деп аталады;тағы бір құбылыс бар, қатты материал арқылы иондар сәулесі қатты материалға өтіп, кедергіні баяу төмендетеді және ақырында қатты материалдарда қалады, бұл құбылыс иондық имплантация деп аталады.
Ионды имплантациялау техникасы:
Соңғы 30 жылда әлемде тез дамып, кеңінен қолданылған материалдың бетін өзгерту технологиясының бір түрі.Негізгі принцип иондық сәуленің энергиясын 100кВ материалдан иондық сәулеге дейін пайдалану болып табылады және атомдар немесе молекулалар материалдары физикалық және химиялық өзара әрекеттесу сериясы болады, түскен ион энергиясының біртіндеп жоғалуы, соңғы аялдама материал, және материалдың бетінің құрамының құрылымы мен қасиеттерін, өзгеруін тудырады.Материалдардың беттік қасиеттерін оңтайландыру немесе кейбір жаңа қасиеттерді алу үшін.Жаңа технология өзінің бірегей артықшылықтарының арқасында жартылай өткізгіш материалда, металда, керамикада, полимерде болды, бетті модификациялау кеңінен қолданылады, үлкен экономикалық және әлеуметтік пайдаға қол жеткізді.
Микроэлектрондық технологиядағы маңызды допингтік технология ретінде иондық имплантация материалдардың беткі қасиеттерін оңтайландыруда шешуші рөл атқарады.Ионды имплантациялау технологиясы өте жоғары температуралық өнімділік және материалдың химиялық коррозияға төзімділігі.Сондықтан иондаушы камераның негізгі бөліктері вольфрам, молибден немесе графит материалдарынан жасалған.Gemei жылдары вольфрам молибден материалын иондық имплантациялау арқылы салалық зерттеулер мен өндіріс, өндіріс процесі тұрақты және бай тәжірибеге ие.
Иондық имплантацияға арналған ыстық өнімдер
