ഒരു ഖര പദാർത്ഥത്തിലേക്ക് വായുവിന്റെ ഒരു ബീം കടക്കുന്നു, ഖര പദാർത്ഥത്തിന്റെ ആറ്റങ്ങളിലേക്കോ തന്മാത്രകളിലേക്കോ അയോൺ ബീം കടക്കുന്നു, ഈ പ്രതിഭാസത്തെ അയോൺ ബീം സ്പട്ടറിംഗ് എന്ന് വിളിക്കുന്നു; ഖര പദാർത്ഥം, ഖര പദാർത്ഥത്തിന്റെ ഉപരിതലം പിന്നിലേക്ക് തിരിച്ചുവരുമ്പോഴോ, ഖര പദാർത്ഥത്തിൽ നിന്ന് ഈ പ്രതിഭാസങ്ങളിലേക്ക് പുറത്തേക്ക് വരുമ്പോഴോ അതിനെ സ്കാറ്ററിംഗ് എന്ന് വിളിക്കുന്നു; മറ്റൊരു പ്രതിഭാസമുണ്ട്, ഖര പദാർത്ഥത്തിലൂടെ അയോൺ ബീം കടന്ന് പ്രതിരോധം സാവധാനം കുറയ്ക്കുകയും ഒടുവിൽ ഖര പദാർത്ഥങ്ങളിൽ തുടരുകയും ചെയ്യുന്നു, ഈ പ്രതിഭാസത്തെ അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ എന്ന് വിളിക്കുന്നു.
അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ സാങ്കേതികത:
കഴിഞ്ഞ 30 വർഷമായി ലോകത്ത് അതിവേഗം വികസിച്ചതും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നതുമായ ഒരു തരം മെറ്റീരിയൽ ഉപരിതല പരിഷ്കരണ സാങ്കേതികവിദ്യയാണിത്. അയോൺ ബീം സംഭവത്തിന്റെ ഊർജ്ജം 100keV എന്ന ക്രമത്തിൽ മെറ്റീരിയലിലേക്ക് അയോൺ ബീം ചെയ്യുക എന്നതാണ് അടിസ്ഥാന തത്വം, ആറ്റങ്ങളുടെയോ തന്മാത്രകളുടെയോ വസ്തുക്കൾ ഭൗതികവും രാസപരവുമായ പ്രതിപ്രവർത്തനങ്ങളുടെ ഒരു പരമ്പരയായിരിക്കും, സംഭവ അയോൺ ഊർജ്ജ നഷ്ടം ക്രമേണ, മെറ്റീരിയലിലെ അവസാന സ്റ്റോപ്പ്, കൂടാതെ മെറ്റീരിയൽ ഉപരിതല ഘടനയുടെ ഘടനയും ഗുണങ്ങളും മാറാൻ കാരണമാകുന്നു. വസ്തുക്കളുടെ ഉപരിതല സവിശേഷതകൾ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിനോ ചില പുതിയ ഗുണങ്ങൾ നേടുന്നതിനോ വേണ്ടി. പുതിയ സാങ്കേതികവിദ്യ അതിന്റെ സവിശേഷ ഗുണങ്ങൾ കാരണം, ഡോപ്പ് ചെയ്ത സെമികണ്ടക്ടർ മെറ്റീരിയൽ, ലോഹം, സെറാമിക്, പോളിമർ എന്നിവയിൽ ഉൾപ്പെടുത്തിയിട്ടുണ്ട്, ഉപരിതല പരിഷ്കരണം വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു, മികച്ച സാമ്പത്തികവും സാമൂഹികവുമായ നേട്ടങ്ങൾ നേടിയിട്ടുണ്ട്.
മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക് സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ ഒരു പ്രധാന ഡോപ്പിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ എന്ന നിലയിൽ അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ വസ്തുക്കളുടെ ഉപരിതല സവിശേഷതകൾ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിൽ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യ വളരെ ഉയർന്ന താപനില പ്രകടനവും വസ്തുക്കളുടെ രാസ നാശന പ്രതിരോധത്തിനെതിരായ പ്രതിരോധവുമാണ്. അതിനാൽ, അയോണൈസേഷൻ ചേമ്പറിന്റെ പ്രധാന ഭാഗങ്ങൾ ടങ്സ്റ്റൺ, മോളിബ്ഡിനം അല്ലെങ്കിൽ ഗ്രാഫൈറ്റ് വസ്തുക്കൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. ടങ്സ്റ്റൺ മോളിബ്ഡിനം മെറ്റീരിയലിന്റെ അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ വഴിയുള്ള ജെമി വർഷങ്ങളുടെ വ്യവസായ ഗവേഷണത്തിന്റെയും ഉൽപാദനത്തിന്റെയും ഫലമായി, ഉൽപാദന പ്രക്രിയയ്ക്ക് സ്ഥിരവും സമ്പന്നവുമായ അനുഭവമുണ്ട്.
അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷനുള്ള ചൂടുള്ള ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ
