ઘન પદાર્થમાં હવાના આયન બીમનું ગંભીર વિસર્જન થાય છે, આયન બીમ ઘન પદાર્થના પરમાણુઓ અથવા અણુઓનું ઘન પદાર્થની સપાટી પર રૂપાંતર કરે છે, આ ઘટનાને આયન બીમ સ્પુટરિંગ કહેવામાં આવે છે; અને જ્યારે ઘન પદાર્થ, ઘન પદાર્થની સપાટી પાછી ઉછળે છે, અથવા ઘન પદાર્થમાંથી આ ઘટનામાં બહાર આવે છે ત્યારે તેને સ્કેટરિંગ કહેવામાં આવે છે; બીજી ઘટના એ છે કે ઘન પદાર્થ દ્વારા આયન બીમ ઘન પદાર્થમાં પ્રવેશ કરે છે અને પ્રતિકાર ધીમે ધીમે ઘટાડે છે, અને અંતે ઘન પદાર્થોમાં રહે છે, આ ઘટનાને આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન કહેવામાં આવે છે.
આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન તકનીક:
આ એક પ્રકારની સામગ્રી સપાટી ફેરફાર તકનીક છે જેનો છેલ્લા 30 વર્ષોમાં વિશ્વમાં ઝડપથી અને વ્યાપકપણે ઉપયોગ થઈ રહ્યો છે. મૂળ સિદ્ધાંત એ છે કે આયન બીમ ઘટનાની ઊર્જાનો ઉપયોગ 100keV સામગ્રીથી આયન બીમના ક્રમમાં કરવો અને અણુઓ અથવા પરમાણુઓના પદાર્થો ભૌતિક અને રાસાયણિક ક્રિયાપ્રતિક્રિયાઓની શ્રેણી હશે, ઘટના આયન ઊર્જાનું ધીમે ધીમે નુકસાન, સામગ્રીમાં છેલ્લો સ્ટોપ, અને સામગ્રી સપાટી રચનાની રચના અને ગુણધર્મોમાં ફેરફારનું કારણ બનશે. સામગ્રીના સપાટી ગુણધર્મોને ઑપ્ટિમાઇઝ કરવા માટે, અથવા કેટલાક નવા ગુણધર્મો મેળવવા માટે. નવી તકનીક તેના અનન્ય ફાયદાઓને કારણે, ડોપ્ડ સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી, ધાતુ, સિરામિક, પોલિમર, સપાટી ફેરફારનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે, તેણે મહાન આર્થિક અને સામાજિક લાભો પ્રાપ્ત કર્યા છે.
માઇક્રો ઇલેક્ટ્રોનિક ટેકનોલોજીમાં એક મહત્વપૂર્ણ ડોપિંગ ટેકનોલોજી તરીકે આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન સામગ્રીના સપાટીના ગુણધર્મોને ઑપ્ટિમાઇઝ કરવામાં મુખ્ય ભૂમિકા ભજવે છે. આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન ટેકનોલોજી ખૂબ જ ઊંચા તાપમાન પ્રદર્શન અને સામગ્રીના રાસાયણિક કાટ પ્રતિકાર સામે પ્રતિકાર છે. તેથી, આયનીકરણ ચેમ્બરના મુખ્ય ભાગો ટંગસ્ટન, મોલિબ્ડેનમ અથવા ગ્રેફાઇટ સામગ્રીથી બનેલા છે. ટંગસ્ટન મોલિબ્ડેનમ સામગ્રીના આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન દ્વારા ઉદ્યોગ સંશોધન અને ઉત્પાદનના વર્ષો, ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં સ્થિર અને સમૃદ્ધ અનુભવ છે.
આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન માટે ગરમ ઉત્પાદનો
