एक गंभीर वायु आयन किरण एक ठोस पदार्थ में होती है, आयन किरण ठोस पदार्थ के परमाणुओं या अणुओं को ठोस पदार्थ की सतह में प्रवेश कराती है, इस घटना को आयन किरण स्पटरिंग कहा जाता है; और जब ठोस पदार्थ, ठोस पदार्थ की सतह पर वापस उछलती है, या ठोस पदार्थ से बाहर निकलती है, तो इन घटनाओं को बिखराव कहा जाता है; एक और घटना यह है कि आयन किरण के ठोस पदार्थ में प्रवेश करने के बाद ठोस पदार्थ द्वारा प्रतिरोध धीरे-धीरे कम हो जाता है और अंततः ठोस पदार्थों में ही रह जाता है, इस घटना को आयन आरोपण कहा जाता है।
आयन प्रत्यारोपण तकनीक:
यह एक प्रकार की सामग्री सतह संशोधन तकनीक है जो पिछले 30 वर्षों में दुनिया भर में तेजी से विकसित और व्यापक रूप से उपयोग की गई है। मूल सिद्धांत 100keV सामग्री के क्रम में आयन बीम की ऊर्जा का उपयोग करना है, आयन बीम और सामग्री के परमाणुओं या अणुओं के बीच भौतिक और रासायनिक अंतःक्रियाओं की एक श्रृंखला होगी, घटना आयन ऊर्जा धीरे-धीरे खो जाती है, सामग्री में अंतिम पड़ाव, और सामग्री की सतह संरचना की संरचना और गुणों में परिवर्तन होता है। सामग्री के सतह गुणों को अनुकूलित करने के लिए, या कुछ नए गुण प्राप्त करने के लिए। नई तकनीक अपने अनूठे फायदों के कारण, डोप्ड सेमीकंडक्टर सामग्री, धातु, सिरेमिक, पॉलिमर, सतह संशोधन में व्यापक रूप से उपयोग की गई है, जिसने महान आर्थिक और सामाजिक लाभ प्राप्त किए हैं।
माइक्रो इलेक्ट्रॉनिक प्रौद्योगिकी में एक महत्वपूर्ण डोपिंग तकनीक के रूप में आयन प्रत्यारोपण सामग्री की सतह के गुणों को अनुकूलित करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। आयन प्रत्यारोपण तकनीक बहुत उच्च तापमान प्रदर्शन और सामग्री के रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध के लिए प्रतिरोध है। इसलिए, आयनीकरण कक्ष के मुख्य भाग टंगस्टन, मोलिब्डेनम या ग्रेफाइट सामग्री से बने होते हैं। टंगस्टन मोलिब्डेनम सामग्री के आयन प्रत्यारोपण द्वारा उद्योग अनुसंधान और उत्पादन के Gemei वर्षों, उत्पादन प्रक्रिया स्थिर और समृद्ध अनुभव है।
आयन प्रत्यारोपण के लिए लोकप्रिय उत्पाद
