Istnieje poważna wiązka jonów powietrza w materiale stałym, wiązka jonów do atomów materiału stałego lub cząsteczek do powierzchni materiału stałego, zjawisko to nazywa się rozpylaniem wiązką jonów; a gdy materiał stały, powierzchnia materiału stałego odbija się lub wychodzi z materiału stałego, to zjawisko nazywa się rozpraszaniem; istnieje inne zjawisko, które polega na tym, że po wiązce jonów do materiału stałego przez materiał stały i materiał stały powoli zmniejszają opór, a ostatecznie pozostają w materiałach stałych, zjawisko to nazywa się implantacją jonów.
Technika implantacji jonów:
Jest to rodzaj technologii modyfikacji powierzchni materiału, która rozwinęła się szybko i jest szeroko stosowana na świecie w ciągu ostatnich 30 lat. Podstawową zasadą jest wykorzystanie energii wiązki jonów padającej do rzędu 100 keV materiał do wiązki jonów, a materiały atomów lub cząsteczek będą serią oddziaływań fizycznych i chemicznych, stopniowa utrata energii jonów padających, ostatni przystanek w materiale i powodują zmianę struktury i właściwości składu powierzchni materiału. W celu zoptymalizowania właściwości powierzchni materiałów lub uzyskania nowych właściwości. Nowa technologia ze względu na swoje unikalne zalety, została domieszkowana w półprzewodnikowym materiale, metalu, ceramice, polimerze, modyfikacja powierzchni jest szeroko stosowana, osiągnęła duże korzyści ekonomiczne i społeczne.
Implantacja jonów jako ważna technologia domieszkowania w technologii mikroelektronicznej odgrywa kluczową rolę w optymalizacji właściwości powierzchniowych materiałów. Technologia implantacji jonów to bardzo wysoka wydajność temperaturowa i odporność na korozję chemiczną materiału. Dlatego główne części komory jonizacyjnej są wykonane z materiałów wolframowych, molibdenowych lub grafitowych. Lata badań przemysłowych i produkcji Gemei przez implantację jonów materiału wolframowo-molibdenowego, proces produkcyjny ma stabilne i bogate doświadczenie.
Gorące produkty do implantacji jonowej
