Існуе сур'ёзнае прамень паветра іёнаў у цвёрды матэрыял, пучок іёнаў да атамаў або малекул цвёрдага матэрыялу ў паверхню цвёрдага матэрыялу, гэта з'ява называецца іённа-прамянёвым распыленнем;і калі цвёрды матэрыял, паверхня цвёрдага матэрыялу адскочыў назад, або з цвёрдага матэрыялу да гэтых з'яў называецца рассейванне;ёсць яшчэ адна з'ява, што пасля прамяня іёнаў да цвёрдага матэрыялу цвёрдага матэрыялу і павольна зніжаюць супраціў, і ў канчатковым выніку застаюцца ў цвёрдых матэрыялах, гэта з'ява называецца іённай імплантацыяй.
Тэхніка іённай імплантацыі:
Гэта своеасаблівая тэхналогія мадыфікацыі паверхні матэрыялу, якая хутка развілася і шырока выкарыстоўваецца ў свеце за апошнія 30 гадоў.Асноўны прынцып складаецца ў тым, каб выкарыстоўваць энергію іённага пучка, які падае парадку 100 кэВ, матэрыял да іённага пучка і матэрыялы атамаў або малекул будуць мець шэраг фізічных і хімічных узаемадзеянняў, страта энергіі падаючага іёна паступова, апошняя прыпынак у матэрыялу і выклікаюць змяненне структуры і ўласцівасцей складу паверхні матэрыялу.Для таго, каб аптымізаваць паверхневыя ўласцівасці матэрыялаў, або атрымаць некаторыя новыя ўласцівасці.Новая тэхналогія з-за сваіх унікальных пераваг, была ў легіраваных паўправадніковых матэрыялаў, металаў, керамікі, палімераў, мадыфікацыі паверхні шырока выкарыстоўваецца, дасягнула вялікіх эканамічных і сацыяльных выгод.
Іонная імплантацыя як важная тэхналогія легіравання ў мікраэлектронных тэхналогіях адыгрывае ключавую ролю ў аптымізацыі паверхневых уласцівасцей матэрыялаў.Тэхналогія іённай імплантацыі адрозніваецца вельмі высокімі тэмпературнымі характарыстыкамі і ўстойлівасцю да хімічнай карозіі, устойлівасцю матэрыялу.Такім чынам, асноўныя часткі іянізацыйнай камеры вырабляюцца з вальфраму, малібдэна або графітавых матэрыялаў.Gemei шмат гадоў галіновых даследаванняў і вытворчасці шляхам іённай імплантацыі матэрыялу вальфраму малібдэна, вытворчы працэс мае стабільны і багаты вопыт.
Гарачыя прадукты для іённай імплантацыі
