Når en kraftig luftstråle ionestråler inn i et fast materiale, og atomer eller molekyler i det faste materialet faller inn på overflaten av det faste materialet, kalles dette fenomenet ionestrålesputtering. Når det faste materialet spretter tilbake på overflaten av det faste materialet, eller når det utsettes for dette fenomenet, kalles dette spredning. Et annet fenomen er at ionestrålen, etter at det faste materialet faller inn i det faste materialet, sakte reduserer motstanden, slik at det til slutt forblir i det faste materialet. Dette fenomenet kalles ioneimplantasjon.
Ionimplantasjonsteknikk:
Er en type teknologi for modifisering av materialers overflater som har utviklet seg raskt og blitt mye brukt i verden de siste 30 årene. Grunnprinsippet er å bruke energien fra en ionestråle på rundt 100 keV som innfaller i materialet. I en ionestråle og i materialet vil atomene eller molekylene gjennomgå en serie fysiske og kjemiske interaksjoner. Den innfallende ionenergien tapes gradvis, og materialet stopper i siste instans, noe som fører til at strukturen og egenskapene til materialets overflatesammensetning endres. For å optimalisere materialets overflateegenskaper eller for å oppnå nye egenskaper, har den nye teknologien, på grunn av sine unike fordeler, blitt mye brukt i overflatemodifisering av dopede halvledermaterialer, metaller, keramikk og polymerer, og har oppnådd store økonomiske og sosiale fordeler.
Ionimplantasjon som en viktig dopingteknologi innen mikroelektronikk spiller en nøkkelrolle i å optimalisere materialenes overflateegenskaper. Ionimplantasjonsteknologien har svært høy temperaturytelse og materialets kjemiske korrosjonsbestandighet. Derfor er hoveddelene i ioniseringskammeret laget av wolfram-, molybden- eller grafittmaterialer. Gemei har hatt mange års industriforskning og produksjon av ionimplantasjon av wolfram-molybdenmateriale, og produksjonsprosessen har vært stabil og har rik erfaring.
Populære produkter for ionimplantasjon
