Existuje vážny vzduchový iónový lúč do pevného materiálu, iónový lúč k atómom alebo molekulám pevného materiálu na povrchu pevného materiálu, tento jav sa nazýva rozprašovanie iónového lúča;a keď sa pevný materiál, povrch pevného materiálu odrazí späť alebo od pevného materiálu k týmto javom, nazýva sa rozptyl;tam je ďalší jav je, že po iónovom lúče na pevný materiál pevný materiál a zníženie odporu pomaly dole, a nakoniec zostať v pevných materiáloch, tento jav sa nazýva iónová implantácia.
Technika iónovej implantácie:
Je to druh technológie povrchovej úpravy materiálov, ktorá sa za posledných 30 rokov rýchlo vyvinula a vo svete sa široko používa.Základným princípom je využitie energie iónového lúča dopadajúceho rádovo 100 keV materiálu na iónový lúč a materiály atómov alebo molekúl budú sériou fyzikálnych a chemických interakcií, pričom dopadajúca iónová energia postupne stráca, posledná zastávka v materiálu a spôsobujú zmenu štruktúry a vlastností zloženia povrchu materiálu.S cieľom optimalizovať povrchové vlastnosti materiálov, prípadne získať nejaké nové vlastnosti.Nová technológia vďaka svojim jedinečným výhodám bola v dopovanom polovodičovom materiáli, kove, keramike, polymére, široko používaná povrchová úprava, dosiahla veľké ekonomické a sociálne výhody.
Iónová implantácia ako dôležitá dopingová technológia v mikroelektronickej technológii hrá kľúčovú úlohu pri optimalizácii povrchových vlastností materiálov.Technológia iónovej implantácie je výkon pri veľmi vysokej teplote a odolnosť materiálu voči chemickej korózii.Preto sú hlavné časti ionizačnej komory vyrobené z volfrámových, molybdénových alebo grafitových materiálov.Gemei rokov priemyselného výskumu a výroby iónovou implantáciou volfrámového molybdénového materiálu, výrobný proces má stabilné a bohaté skúsenosti.
Horúce produkty pre iónovú implantáciu
