Ìlà ion afẹ́fẹ́ tó lágbára kan wà nínú ohun èlò líle kan, ìlà ion sí àwọn átọ̀mù ohun èlò líle tàbí àwọn molecule sínú ojú ohun èlò líle, ìṣẹ̀lẹ̀ yìí ni a ń pè ní ìlà ion onípele; àti nígbà tí ohun èlò líle náà, ojú ohun èlò líle náà bá padà sẹ́yìn, tàbí láti inú ohun èlò líle sí àwọn ìṣẹ̀lẹ̀ wọ̀nyí ni a ń pè ní ìfọ́ká; ìṣẹ̀lẹ̀ mìíràn tún wà ni pé lẹ́yìn ìlà ion sí ohun èlò líle náà nípasẹ̀ ohun èlò líle, tí ó sì dín ìdènà náà kù díẹ̀díẹ̀, tí ó sì dúró nínú àwọn ohun èlò líle nígbẹ̀yìn gbẹ́yín, ìṣẹ̀lẹ̀ yìí ni a ń pè ní ìfísí ion.
Ìlànà ìfisí ion:
Ó jẹ́ irú ìmọ̀ ẹ̀rọ àtúnṣe ojú ohun èlò tí ó ti gbilẹ̀ kíákíá tí a sì ti lò ó dáadáa ní àgbáyé láàárín ọgbọ̀n ọdún sẹ́yìn. Ìlànà ìpìlẹ̀ ni láti lo agbára ìtànṣán ion sí ìtòlẹ́sẹẹsẹ 100keV ohun èlò sí ìtànṣán ion àti àwọn ohun èlò ti àwọn átọ̀mù tàbí àwọn mọ́lẹ́kúlù yóò jẹ́ ìtẹ̀lé àwọn ìbáṣepọ̀ ti ara àti kẹ́míkà, pípadánù agbára ion ìṣẹ̀lẹ̀ díẹ̀díẹ̀, ìdúró ìkẹyìn nínú ohun èlò náà, kí ó sì fa ìṣètò àti àwọn ohun ìní ti ìṣètò ojú ohun èlò, yípadà. Láti lè mú kí àwọn ohun ìní ojú ohun èlò sunwọ̀n síi, tàbí láti gba àwọn ohun ìní tuntun. Ìmọ̀ ẹ̀rọ tuntun nítorí àwọn àǹfààní àrà ọ̀tọ̀ rẹ̀, ó ti wà nínú ohun èlò semiconductor tí a fi doped ṣe, irin, seramiki, polima, àtúnṣe ojú ni a ń lò ní gbogbogbòò, ó ti ṣàṣeyọrí àwọn àǹfààní ọrọ̀ ajé àti àwùjọ ńlá.
Ìfilọ́lẹ̀ ion gẹ́gẹ́ bí ìmọ̀ ẹ̀rọ doping pàtàkì nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ micro electronic kó ipa pàtàkì nínú ṣíṣe àtúnṣe àwọn ohun èlò ojú ilẹ̀. Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfilọ́lẹ̀ ion jẹ́ iṣẹ́ otutu gíga àti ìdènà sí ìdènà ìbàjẹ́ kẹ́míkà ti ohun èlò náà. Nítorí náà, àwọn apá pàtàkì ti yàrá ionization ni a fi tungsten, molybdenum tàbí àwọn ohun èlò graphite ṣe. Ọ̀pọ̀ ọdún ìwádìí àti ìṣelọ́pọ̀ ilé iṣẹ́ nípa fífi ion sínú ohun èlò tungsten molybdenum, ìlànà ìṣelọ́pọ̀ náà ní ìrírí tó dúró ṣinṣin àti tó níye lórí.