Serioza aerjona fasko en solidan materialon okazas, kaj la jonfasko transiras atomojn aŭ molekulojn de solida materialo al la surfaco de solida materialo, ĉi tiu fenomeno nomiĝas jonfaska ŝprucado; kaj kiam la solida materialo resaltas de la surfaco, aŭ eliras el la solida materialo, ĉi tiu fenomeno nomiĝas disĵeto. Alia fenomeno estas, ke post kiam la jonfasko transiras al solida materialo, la rezisto malrapide malpliiĝas, kaj finfine restas en la solida materialo, ĉi tiu fenomeno nomiĝas jona implantado.
Tekniko de enplantado de jonoj:
Estas speco de materiala surfaca modifa teknologio, kiu disvolviĝis rapide kaj vaste uzata en la mondo en la lastaj 30 jaroj. La baza principo estas uzi la energion de jona fasko okazanta al la ordo de 100keV materialo al jona fasko kaj la materialoj de la atomoj aŭ molekuloj estos serio de fizikaj kaj kemiaj interagoj, la okazaĵa jona energio perdo iom post iom, la lasta halto en la materialo, kaj kaŭzi la strukturon kaj propraĵoj de materiala surfaco komponado, ŝanĝo. Por optimumigi la surfacajn ecojn de materialoj, aŭ por akiri iujn novajn ecojn. La nova teknologio pro siaj unikaj avantaĝoj, estis en la dopita semikondukta materialo, metalo, ceramiko, polimero, surfaca modifo estas vaste uzata, atingis grandajn ekonomiajn kaj sociajn avantaĝojn.
Jon-enplantado kiel grava dopa teknologio en mikroelektronika teknologio ludas ŝlosilan rolon en optimumigado de la surfacaj propraĵoj de la materialoj. La teknologio de enplantado de jonoj estas tre alta temperatura rendimento kaj rezisto al kemia koroda rezisto de la materialo. Tial, la ĉefaj partoj de la joniga ĉambro estas faritaj el volframo, molibdeno aŭ grafitaj materialoj. Gemei jaroj da industria esplorado kaj produktado per jona enplantado de volframa molibdena materialo, la produktada procezo havas stabilan kaj riĉan sperton.