Van egy komoly levegő ion nyaláb szilárd anyagba, az ionsugár szilárd anyag atomjaiba vagy molekuláiba szilárd anyag felületébe, ezt a jelenséget ionsugár porlasztásnak nevezik;és amikor a szilárd anyag, a szilárd anyag felülete visszapattan, vagy a szilárd anyagból kilép ezekre a jelenségekre, szóródásnak nevezzük;Van egy másik jelenség, hogy miután az ionsugár a szilárd anyaghoz szilárd anyaggal, az ellenállást lassan csökkenti, és végül a szilárd anyagokban marad, ezt a jelenséget ionbeültetésnek nevezik.
Ionimplantációs technika:
Egyfajta anyagfelület-módosítási technológia, amely gyorsan fejlődött, és az elmúlt 30 évben széles körben elterjedt a világon.Az alapelv az, hogy a 100 keV-os nagyságrendű anyagból ionsugárral beeső ionsugár energiáját használjuk fel, és az atomok vagy molekulák anyagai fizikai és kémiai kölcsönhatások sorozatát képezik, a beeső ion energiavesztesége fokozatosan, az utolsó állomás az anyag, és az anyag felületi összetételének szerkezete, tulajdonságai megváltoznak.Az anyagok felületi tulajdonságainak optimalizálása, vagy néhány új tulajdonság elérése érdekében.Az új technológia egyedülálló előnyei miatt az adalékolt félvezető anyagokban, fémekben, kerámiákban, polimerekben, felületmódosításban széles körben elterjedt, nagy gazdasági és társadalmi előnyöket ért el.
Az ionimplantáció, mint a mikroelektronikai technológia fontos adalékolási technológiája, kulcsszerepet játszik az anyagok felületi tulajdonságainak optimalizálásában.Az ionimplantációs technológia nagyon magas hőmérsékleti teljesítmény és az anyag kémiai korrózióval szembeni ellenálló képessége.Ezért az ionizációs kamra fő részei volfrámból, molibdénből vagy grafitból készülnek.A Gemei több éves ipari kutatása és gyártása volfrám-molibdén anyag ionimplantációjával, a gyártási folyamat stabil és gazdag tapasztalattal rendelkezik.
Forró termékek ionbeültetéshez
