একটি কঠিন পদার্থে একটি গুরুতর বায়ু আয়ন রশ্মি থাকে, আয়ন রশ্মি কঠিন পদার্থের পরমাণু বা অণুগুলিকে কঠিন পদার্থের পৃষ্ঠে রূপান্তরিত করে, এই ঘটনাটিকে আয়ন রশ্মি স্পুটারিং বলা হয়; এবং যখন কঠিন পদার্থ, কঠিন পদার্থের পৃষ্ঠটি এই ঘটনাগুলিতে ফিরে আসে, বা কঠিন পদার্থ থেকে বেরিয়ে আসে তখন তাকে বিচ্ছুরণ বলা হয়; আরেকটি ঘটনা হল যে আয়ন রশ্মি কঠিন পদার্থের সাথে যোগাযোগের পরে ধীরে ধীরে প্রতিরোধ কমিয়ে দেয় এবং শেষ পর্যন্ত কঠিন পদার্থে থাকে, এই ঘটনাটিকে আয়ন ইমপ্লান্টেশন বলা হয়।
আয়ন ইমপ্লান্টেশন কৌশল:
এটি এক ধরণের উপাদান পৃষ্ঠ পরিবর্তন প্রযুক্তি যা গত 30 বছরে বিশ্বে দ্রুত এবং ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়েছে। মূল নীতি হল আয়ন রশ্মির ঘটনার শক্তিকে 100keV উপাদান থেকে আয়ন রশ্মির ক্রমানুসারে ব্যবহার করা এবং পরমাণু বা অণুর উপাদানগুলি ভৌত ও রাসায়নিক মিথস্ক্রিয়ার একটি সিরিজ হবে, ঘটনা আয়ন শক্তি ধীরে ধীরে হ্রাস পাবে, উপাদানের শেষ স্টপ হবে এবং উপাদান পৃষ্ঠের গঠনের গঠন এবং বৈশিষ্ট্যগুলিকে পরিবর্তন করবে। উপকরণের পৃষ্ঠের বৈশিষ্ট্যগুলিকে অপ্টিমাইজ করার জন্য, অথবা কিছু নতুন বৈশিষ্ট্য অর্জন করার জন্য। নতুন প্রযুক্তিটি তার অনন্য সুবিধার কারণে, ডোপড সেমিকন্ডাক্টর উপাদান, ধাতু, সিরামিক, পলিমার, পৃষ্ঠ পরিবর্তন ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, দুর্দান্ত অর্থনৈতিক ও সামাজিক সুবিধা অর্জন করেছে।
মাইক্রো ইলেকট্রনিক প্রযুক্তিতে একটি গুরুত্বপূর্ণ ডোপিং প্রযুক্তি হিসেবে আয়ন ইমপ্লান্টেশন উপকরণের পৃষ্ঠের বৈশিষ্ট্যগুলিকে অপ্টিমাইজ করার ক্ষেত্রে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রযুক্তি অত্যন্ত উচ্চ তাপমাত্রার কর্মক্ষমতা এবং উপাদানের রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের জন্য উপযুক্ত। অতএব, আয়নাইজেশন চেম্বারের প্রধান অংশগুলি টাংস্টেন, মলিবডেনাম বা গ্রাফাইট উপকরণ দিয়ে তৈরি। টাংস্টেন মলিবডেনাম উপাদানের আয়ন ইমপ্লান্টেশন দ্বারা শিল্প গবেষণা এবং উৎপাদনের বহু বছরের অভিজ্ঞতা, উৎপাদন প্রক্রিয়াটির স্থিতিশীল এবং সমৃদ্ধ অভিজ্ঞতা রয়েছে।
আয়ন ইমপ্লান্টেশনের জন্য গরম পণ্য
