כאשר אלומת יונים אווירית חודרת לחומר מוצק, אלומת היונים פוגעת באטומים או מולקולות של חומר מוצק ונכנסת למשטח החומר המוצק. תופעה זו נקראת התזה של אלומת יונים; כאשר חומר מוצק פוגע במשטח החומר המוצק, או כאשר החומר יוצא מהמוצק, תופעה זו נקראת פיזור; תופעה נוספת היא שכאשר אלומת היונים פוגעת בחומר המוצק, ההתנגדות מפחיתה את עצמה בהדרגה, ובסופו של דבר נשארת בחומר המוצק. תופעה זו נקראת השתלת יונים.
טכניקת השתלת יונים:
זוהי טכנולוגיית שינוי פני שטח של חומרים אשר התפתחה במהירות ונמצאת בשימוש נרחב בעולם ב-30 השנים האחרונות. העיקרון הבסיסי הוא להשתמש באנרגיה של אלומת יונים הפוגעת בחומר בסדר גודל של 100 keV, על ידי אינטראקציות פיזיקליות וכימיות בין אטומים או מולקולות של אלומת יונים לחומר. אנרגיית היונים הפוגעים מאבדת בהדרגה, והחומר מגיע לתחנה האחרונה וגורמת לשינוי במבנה ובתכונות של הרכב פני השטח. על מנת לייעל את תכונות פני השטח של החומרים או להשיג תכונות חדשות. הטכנולוגיה החדשה, בשל יתרונותיה הייחודיים, נמצאת בשימוש נרחב בחומרי מוליכים למחצה מסוממים, מתכת, קרמיקה ופולימרים, ושינוי פני שטח משיג יתרונות כלכליים וחברתיים רבים.
השתלת יונים כטכנולוגיית סימום חשובה בטכנולוגיית מיקרו-אלקטרוניקה ממלאת תפקיד מפתח באופטימיזציה של תכונות פני השטח של החומרים. טכנולוגיית השתלת יונים מתאפיינת בביצועים גבוהים מאוד בטמפרטורה ועמידות בפני קורוזיה כימית של החומר. לכן, החלקים העיקריים של תא היינון עשויים מחומרים כמו טונגסטן, מוליבדן או גרפיט. גמי פיתחה שנים של מחקר וייצור בתעשייה באמצעות השתלת יונים של חומר טונגסטן מוליבדן, ותהליך הייצור שלה יציב ועשיר.
מוצרים חמים להשתלת יונים
