Om en kraftig jonstråle från luft riktas mot ett fast material, atomer eller molekyler från det fasta materialet på det fasta materialets yta, kallas detta fenomen för jonstrålesputtring. När det fasta materialet studsar tillbaka på det fasta materialets yta, eller om det utsätts för detta fenomen, kallas detta spridning. Ett annat fenomen är att jonstrålen, efter att den studsat mot det fasta materialet, långsamt minskar motståndet och slutligen stannar kvar i det fasta materialet, kallas detta fenomen för jonimplantation.
Jonimplantationsteknik:
Är en typ av ytmodifieringsteknik för material som har utvecklats snabbt och använts i stor utsträckning i världen under de senaste 30 åren. Grundprincipen är att använda energin från en infallande jonstråle på i storleksordningen 100 keV i materialet, vilket leder till att atomerna eller molekylerna i materialet genomgår en serie fysikaliska och kemiska interaktioner. Den infallande jonenergin förloras gradvis och materialet når sitt slutskede, vilket leder till att strukturen och egenskaperna hos materialets ytsammansättning förändras. För att optimera materialets ytegenskaper eller för att erhålla nya egenskaper, har den nya tekniken, tack vare sina unika fördelar, använts i stor utsträckning inom ytmodifiering av dopade halvledarmaterial, metaller, keramik och polymerer, vilket har uppnått stora ekonomiska och sociala fördelar.
Jonimplantation som en viktig dopningsteknik inom mikroelektronikteknik spelar en nyckelroll för att optimera materialens ytegenskaper. Jonimplantationstekniken har mycket hög temperaturprestanda och kemisk korrosionsbeständighet. Därför är huvuddelarna i joniseringskammaren tillverkade av volfram-, molybden- eller grafitmaterial. Genom åratal av industriforskning och produktion genom jonimplantation av volfram-molybdenmaterial har produktionsprocessen varit stabil och har en rik erfarenhet.
Heta produkter för jonimplantation
