Postoji ozbiljan zračni ionski snop u čvrsti materijal, ionski snop na atome ili molekule čvrstog materijala na čvrstu površinu materijala, ovaj se fenomen naziva raspršivanje ionskog snopa;i kada krutog materijala, površina krutog materijala odbija natrag, ili iz krutog materijala na ove pojave se naziva raspršenje;postoji još jedan fenomen je da nakon ionske zrake na kruti materijal po krutom materijalu i polako smanji otpor, i na kraju ostane u krutim materijalima, ovaj fenomen se zove ionska implantacija.
Tehnika ionske implantacije:
To je vrsta tehnologije modifikacije površine materijala koja se brzo razvila i naširoko koristi u svijetu u posljednjih 30 godina.Osnovno načelo je korištenje energije incidentne ionske zrake reda veličine 100 keV materijal na ionsku zraku, a materijali atoma ili molekula bit će niz fizičkih i kemijskih interakcija, postupni gubitak energije upadnog iona, posljednja stanica u materijala i uzrokuju promjenu strukture i svojstava površinskog sastava materijala.Da bi se optimizirala površinska svojstva materijala, ili da bi se dobila neka nova svojstva.Nova tehnologija zbog svojih jedinstvenih prednosti, bila je u dopiranom poluvodičkom materijalu, metalu, keramici, polimeru, površinska modifikacija je naširoko korištena, postigla je velike ekonomske i društvene koristi.
Ionska implantacija kao važna tehnologija dopinga u mikro elektroničkoj tehnologiji igra ključnu ulogu u optimizaciji površinskih svojstava materijala.Tehnologija ionske implantacije ima vrlo visoke temperaturne performanse i otpornost na kemijsku koroziju otpornost materijala.Stoga su glavni dijelovi ionizacijske komore izrađeni od materijala od volframa, molibdena ili grafita.Gemei godina istraživanja industrije i proizvodnje ionskom implantacijom materijala volfram molibden, proizvodni proces ima stabilno i bogato iskustvo.
Popularni proizvodi za ionsku implantaciju
